Способ измерения давления газа или пара в газоразрядных приборах Советский патент 1974 года по МПК H01J41/00 

I

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при измерении давления газа или пара в газоразрядных приборах.

Известный способ измерения давления газа или нара в газоразрядных приборах основан на подаче импульсного напряжения с амплитудой, превышающей статическое напряжение зажигания разряда, и длительностью не менее времени деионизации плазмы. Давление определяется по времени распада плазмы.

Однако известный способ позволяет измерять сравнительно узкий диапазон давлений, особенно легких газов (водород, гелий), при этом на точность измерения в приборах с холодным катодо.м влияет статическое время запаздывания.

Цель изобретения - увеличение точности измерения и расширение диапазона измеряемых давлений.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу на электроды газоразрядного прибора подают постоянное напряжение, превышающее статическое напряжение зажигания, и импульсное напряжение. Длительность имнульсов должна превышать время запаздывания и формирования разряда. О давлении пара или газа судят по времени существования низковольтного разряда.

2

При подаче постоянного напряжения на электроды газоразрядного прибора в промежутке зажигается слаботочный вспомогательный разряд, величина тока которого ограничивается сопротивлением в пределах единиц миллиампер. Между электродами устанавливается напряжение горения.

ИмпуиТьс положительной полярности, по амплитуде превышающий напряжение горения, подается через диод на анод. Длительность импульса превышать время запаздывания и формирования разряда. Во время действия импульса в промежутке образуется разряд с более высокой концентрацией зарядов. По окончании импульса начинается распад плазмы (низковольтная стадия) прп напряжении на электроде, близком к нулю. В процессе распада плазмы уменьщается концентрация зарял енных частиц, и в промежутке восстанавливаются условия, существовавщие до поступления импульса.

Время существования низковольтной стадии разряда (распада плазмы) Тц пропорционально давлению Р (плотности) газа или пара.

Измеряя длительность существования низковольтной стадии и пользуясь градуировочной кривой Тн f(P), можно определить плотность газа ИЛЕ пара в разрядном промежутке любого газоразрядного прибора низкого давления. 3 П р е л }. с т и 3 о б р е т е и и я Способ измерения давления газа или нара в газоразрядных приборах путем подачи на электроды напряжения, отличающийся5 тем, что, с целью увеличения точности измерения и расширения диапазона измеряемых давлений, на электроды подают постоянное 4 напряжение, превышающее статическое напряжение зажигания и имнульсное той же полярности, что и постоянное, причем длительность импульса не меньше времени запаздывания и формирования разряда, и по времени существования низковольтного разряда судят о давлении газа или пара в газоразрядном приборе.