ВОЕЗОЮЗНАЯпшш;- 1.„ш* Советский патент 1973 года по МПК H05K13/00 

1

Изобретение относится к электронной технике, а именно к способам контроля интегральных схем для вычислительных машин.

Известны способы контроля интегральных схем, основанные на применении электронного пучка, по которым поток электронов направляют на поверхность исследуемой интегральной схемы, что дает возможность судить о ее структуре.

Недостатками известного способа являются частичный выход из строя интегральной схемы в результате взаимодействия ее с интенсивным излучением и невозможность автоматизировать процесс измерения параметров интегральных схем.

Цель изобретения - уменьшение воздействия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повышение производительности.

Это достигается тем, что электронный пучок аксиально-симметричной или плоскопараллельной формы сканируют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, фиксируют на люминесцентном экране или другом фотоприемнике отклонение электронов пучка, вызванное .взаимодействием электронов с электрическими нолями рассеивания интегральных схем. Сравнивая полученную картину с эталонной, судят о качестве изделия.

Предлагаемый способ осуществляется следуюш,им образом.

Исследуемую интегральную схему помеш.ают в специальное устройство, позволяющее включать отдельные или все элементы схемы.

Формируемый электронный поток проходит параллельно поверхности исследуемой схемы, и, взаимодействуя с электронными полями одного или нескольких включенных элементов, отклоняется ими. Отклонение электронов потока фиксируется на люминесцентном экране или на фотоприемнике другого типа. Полученное изображение сравнивают с изображением эталонной интегральной схемы, что дает возможность провести исследование и проверку данной схемы.

При формировании электронного потока плоскоиараллельной формы контролируют несколько или все включенные элементы схемы.

При формировании электронного потока аксиально-симметричной формы исследуют один или несколько включенных элементов схемы при различных положениях интегральной схемы относительно скользящего вдоль ее поверхности электронного пучка.

Исследование интегральной схемы производят и при noMOHUi муаровых картин, получаемых на люминесцентном экране или другом фотопрнемнике, комбинируя включение или

выключение отдельных элементов интегральной схемы.

Предмет изобретения

Способ контроля интегральных схем с помощью сканирующего электронного пучка аксиально-симметричной или плоскопараллельной формы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения воздействия электронного пучка на элементы контролируемой схемы и повыщения производительности, электронный пучок направляют параллельно контролируемой поверхности интегральной схемы, на которую подано напряжение питания, и фиксируют отклонение электронов пучка, вызванное взаимодействием электронов с полями рассеивания интегральной схемы, с последующим сопоставлением данного отклонения электронного пучка с отклонением, вызванным его взаимодействием с эталонной интегральной схемой.