УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА Советский патент 1973 года по МПК G01R17/06 G01R27/02 

1

Изобретение относится к области измерительной техники.

В известных устройствах для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала, геометрические размеры которых не сказываются на результатах измерений, автоматизация процесса измерений осуществляется за счет автоматического перемещения измерительной головки вдоль слитка, отвода и прижима головки к слитку и регистрации результатов измерения. При этом ввод поправок на геометрию образца не производится или осуществляется вручную.

Для повышения точности измерения за счет введения автоматизированной коррекции на геометрию образца предлагаемое устройство дополнительно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока.

На чертеже представлена функциональная схема описываемого устройства, состоящего из четырехзондовой головки Л стабилизатора 2 постоянного тока, цифрового вольтметра 3, блока управления 4, механизма 5 перемещения зондовой головки, реостатного датчика 6, функционального преобразователя 7, корректирующего звена 8 стабилизатора тока.

Через токовые зонды 9 и 10 измерительной головки Л прижатой к исследуемому образцу 11, пропускается постоянный ток от стабилизируемого источника 2. Напряжение, снимае

мое с потенциальных зондов 12 и 13, подается на вход измерительного прибора (например цифрового вольтметра) 3. Блок управления 4 с помощью механизма 5 отводит и прижимает зондовую головку к образцу и перемещает ее

вдоль торца. Перемещение фиксируется реостатным или другим датчиком 6 линейного перемещения. Электрический сигнал, пропорциональный смещению зондовой головки от центра образца, поступает на вход функционального преобразователя 7, реализующего нелинейную зависимость поправочного коэффициента F от величины смещения х.

Вход функционального преобразователя связан с корректирующим звеном 8 стабилизатора 2, которое устанавливает величину тока через токовые зонды для получения непосредственного отсчета величины Здельного сопротивления, т. е. .

25

Предмет изобретения

Устройство для измерения з дельного сопротивления полупроводникового материала, содержащее четырехзондовую измерительную го30 ловку, механизм перемещения ее с блоком управления, стабилизатор постояиного тока и цифровой вольтметр, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока.