Зондовое устройство Советский патент 1988 года по МПК H05K1/11 

Фиг.З

N)

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано для измерения поверхностного и уделного сопротивлений полупроводниковых материалов, в частности,, четы- рехзондовым методом.

Цель изобретения ул у-чшенне эксплуатационных характерист к за счет обеспечения возможности измерения параметров полупроводниковой структуры по всей поверхности без отключения вакуумной присоски и без перемещения измеряемой структуры относительно поверхности предметного столика

На фиг 1 изображено зондовое УСТРОЙСТВО1 на фиг, 2 - предметный столик; на фиг 3 зондовая головка с предметным столиком

Зондовое устройство состоит из четырехзондовой головки 1, предмет

28 контактирование всех четырех зондов 19 и 21 с указанной поверхностью достигается за счет балансирования предметного столика 2 вокруг оси 16, Производят измерение по линии, совпадающей с осью касания. Для измерения в точках5 не лежащих на этой ли- ниИд осуществляют подъем зондовой головки 15 поворотом винта 27 смещают подвижную часть 24 предметного столика 2 на необходимую величину, опускают зондовую головку 1 и продолжают измерение. Для Toroj чтобы центр тяжести предметного столика 2 находился симметрично относительно потенциальных зондов 19 при смещении подвижной части 24, предметный столик 2 снабисен противовесом 25, который при повороте винта 27 смещается на ту же величину, что и подвижная часть 24 предметного столика

Изобретение может быть использовано для измерения поверхностного и удельного сопротивлений полупроводниковых (ПП) материалов, в частности, четырехзондовым методом. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных характеристик - достигается тем, что предметный столик состоит из неподвижной и подвижной частей 23 и 24 соответственно и противовеса 25. На неподвижной части 23 закреплен кронштейн 26, в котором установлен ходовой винт 27, взаимодействующий с противовесом 25. Подвижная часть 24, на которую устанавливается ПП структура 28, постоянно поджата к ходовому винту 27 пружиной . 3 ил. (О

ного столика 2;, пантографа 3, демпфера АЭ стойки 5,, станины 65, манипулятора 7, рукоятки 8 подъема демпфе- ра 4р регулятора 9 нагрузкиj вакуумной присоски Юз грузов 1 I э регулировочных винтов 12 и 13 обоймы 14,

подвески 15 оси , станины 17, винта ISj который служит для установки оси 16 в центральную плоскость между потенциальными зонда ш 19,, запрессованными в изолирующий корпус 20о Б четырехзондовой головке располгается пара подвижных токовых зондов К торцам зондов прикреплены эле21,

ктрические выводы 22„ Предметный столик 2 состоит из неподви)глой 23 и подвияшой 24 частей и противовеса 25, На неподвижной части 23 предметного столика 2 закреплен кронштейн 26, в

котором установлен ходовой винт 27,, взаимодействующий с противовесом 25, Подвижная часть 24 предметного столика 2 , на которую устанавливается полупроводниковая структура 28,., постоянно поджата к винту 27 пружиной 29.

Зондовое устройство работает следующим образом.

На подвижную часть 24 предметного столика 2 помещают полупроводниковую структуру 285 включают вакуумную присоску 10. Опускают рукоятку 8, вследствие чего срабатывает демпфер 4, и головка 1 плавно опускается на структуру 28, Пары зондов 19 к 21 прижи- маются к поверхности полупроводниковой структуры 28 При неодновременном касании зондами поверхности структуры

5

0

.

0

5

5

0

25 но в противоположную сторону, в неподвижной части 23 выполнен паз, в котором перемещается подвижная часть 24 и которьй позволяет подсоединить вакуумную присоску 10,

Для оценки величины перемещения подвижной части 24 на неподвижной части 23 могут быть нанесены риски, для более точного определения перемещения винт 27 может быть выполнен с нониусным отсчетом (в качестве винта может быть использован обычньй микрометр)„

Предварительная балансировка предметного столика 2 может быть осуществлена установкой регулировочного эле- мента например винта (не показан), на подвижной части 24 или противовесе 25 для этого в них выполняют отверстие с резьбой. Вращением регулировочного элемента обеспечивают горизонтальное положение предметного столика 2, т„е, совпадения центра тяжести предметного столика 2 с плоскостью симметрии четырехзондовой головки 1j и фиксируют регулировочньй элемент в этом положении.

Смещение центра тяжести предметного столика 2 от смещения винта 27 можно компенсировать соответствующей выборкой материала в противовесе 25,

Таким образом, предлагаемое исполнение предметного столика-позволяет проводить измерения без выключения вакуумной присоски и без смещения полупроводниковой структуры относительно поверхности- предметного столика,

/V.

а

-:

в S