1
Изобретение относится к фототехнике и предназначено для производства микросхем.
Известны мультипликаторы, содержащие светооптическую систему, объектив, размножаемый оригинал и многозеркальный отражатель.
Для повышения производительности при одновременном улучшении качества изображения в предлагаемом мультивибраторе позади отражателя размешены многоэлементная диафрагма и дополнительный объектив, а оригинал расположен в фокальной плоскости основного объектива.
На чертеже показан описываемый мультипликатор, состоящий из светооптической системы J, размножаемого оригинала 2, объектива 3, многоэлементной диафрагмы 4, многозеркального отражателя 5, дополнительного объектива 6 и фотоматериала 7 со светочувствительным слоем.
Светооптическая система / направляет лучи на размножаемый оригинал 2, расположенный в фокальной плоскости объектива 5. Далее многозеркальный отражатель разделяет световой поток и направляет его под различными углами во входной зрачок дополнительного объектива 6, который формирует ряд изображений оригинала 2 на фотоматериале 7 со светочувствительным слоем.
При необходимости получения на одном светочувствительном фотоматериале изображения различных оригиналов используют последовательную экспозицию оригиналов с соответствующим экранированием зеркал многоэлементной диафрагмой.
Коэффициент мультиплицирования равен количеству действующих зеркал отражателя, а увеличение мультипликатора - отношению
фокусов дополнительного объектива 6 к основному объективу 3.
При необходимости получения большого коэффициента мультиплицирования целесообразно производить повторное фотографировакие, так как увеличение количества зеркал отражателя усложняет конструкцию и приходится учитывать дифракционные оптические ограничения. Коэффициент мультиплицирования при последующих пересъемах определяют
по формзлам:
Г(
K N
25
увеличение мультипликатора,
фокусное расстояние широкоугольного объектива 6,
фокусное расстояние длиннофокусного объектива 3,
К. - коэффициент мультиплицирования, Л - количество действующих зеркал, и - количество пересъемов.
Предмет изобретения
Мультипликатор, содержит светооптическую систему, объектив, размножаемый оригинал и многозеркальный отражатель, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности при одновременном улучшении качества изображения, позади отражателя размещены многоэлементная диафрагма и дополнительный объектив, а оригинал расположен в фокальной плоскости основного объектива.
