СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОЭЛЕКТРОННОГО КАТОДА Советский патент 1973 года по МПК H01J9/02 H01J1/304 

1

Изобретение предназначено для использования в электронных приборах, в которых необходимы малая величина эммитируюш,ей. поверхности и небольшой угол расхождения электронного пучка.

Известен способ изготовления автоэлектронного катода, эмиссия которого локализована в малом телесном угле, путем нанесения на катод материала, понижающего работу выхода поверхности в результате адсорбции атомов на отдельных микроучастках. Однако электронный ток, снимаемый с такого катода, нестабилен во времени.

Предлагаемый способ изготовления автоэлектронного катода отличается от известного тем, что на острие напыляют кремний, создающий устойчивое микрообразование, которое при Приложении электрического поля является эмиттирующей поверхностью.

Для создания эмиттирующей электроны точки напыляемый кремний распределяется по поверхности вольфрамового острия во время прогрева (в результате поверхностной диффузии) при температуре 900-1000°К (1-2 мин),

а затем при температуре 1300-1400°К в электрическом поле напряженностью 10 в/см.

После образования на центральной грани (011) микрообразования кремния угол расходимости электронного пучка составляет только 0,06 стер. Предлагаемый автоэлектронный катод эмиттирует стабильный ток.

Предмет изобретения

Способ изготовления автоэлектронного катода в виде острия из монокристаллического вольфрама, эмиссия которого локализована в малом телесном угле, путем нанесения на острие материала, понижающего работу вы.хода поверхности катода, отличающийся тем, что, с целью повыщения стабильности электронного тока во времени, острие ориентируют направле 1ием (011) вдоль оси катода, напыляют на него кремний п прогревают при те.мпературе 900-1000°К в течение 1-2 мин, после чего помещают в электрическое поле напряженностью порядка 10 в/см и повыщают температуру до 1300-1400°К на 1-2 лшн.