1
Изобретение относится к измерительным интерферометрам для контроля качества поверхности.
Известные интерферометры обеспечивают точность только до 0,01 полосы; измерения проводятся только в отдельных точках, что затрудняет контроль местных ошибок.
С целью повышения точности наведения на интерференционную полосу в предлагаемой наблюдательной системе интерферометра между линзами установлены под углом, отличным от 180°, две плоскопараллельные пластины, причем линия пересечения поверхностей пластин, угол между которыми меньше 180°, расположена в плоскости изображения интерференционных .полос.
На чертеже приведена оптическая схема предлагаемой наблюдательной системы интерферометра.
Задняя фокальная плоскость объектива / совмещена с передней фокальной плоскостью линзы 2. Между линзами 2 и 5 введены две расположенные под углом плоскопараллельные пластины 4 н 5. Ребро 6, образованное пересечением поверхностей 7 и 8 пластин, расположено в плоскости 9, сопряженной с плоскостью W локализации интерференционных полоС. Угол между поверхностями 7 л 8 меньше 18,0°. Передняя фокальная плоскость линзы 3 совмещена с .плоскостью 9. Интерфе2
ренционная картина наблюдается глазом, помещенным за диафрагмой //, расположенной в задней фокальной плоскости линзы 3. Наведение на центр интерференционной полосы осуществляется по фотометрическому уравниванию освещенностей по .разные стороны от .ребра 6. Как известно, уравнивание освещенности можно выполнить с т очи остью 1-2%, а. это позволяет осуществлять
наведение на центр двухлучввой интерференционной ПОЛОСЫ с точностью до нескольких тысячных долей ра.сстояния между полосами.
Предмет изобретения
15
Наблюдательная система интерферометра, содержащая объектив, две расположенные за его фокальной плоскостью линзы и устройство для регистрации центра интерференционной полосы, отличающаяся тем, что, с целью повыщения точности наведения на интерференционную полосу, устройство для регистрации центра интерференционной полосы выполнено в виде двух плоскопараллельных пластин, расположенных между линзами и образующих между собой угол, отличный от 180°, причем линия пересечения поверхностей пластин, располол ена в плоскости изображения
интерференционной картины.
