ДВУПОЛЬНЫЙ ПРОЕКТОР Советский патент 1973 года по МПК G03B21/10 

1

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в областях производственной практики, где требуется одновременное наблюденИе на экране двух объектов или двух участков одного объекта, а также в микриэлектронном про изводстве для проведения операций совмепдения и базирования в процессе сборки, зондовом контроле, визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем.

Известные двупольные проекторы, состоящие из двух оптических проекционных систем, осветительных устройств и экрана, имеют сложную принципиальную оптическую систему.

Для упрощения оптической системы в цредлагаемом проекторе в каждом проекционном канале в плоскости промежуточного изображения установлены полевые диафрагмы, причем края этих диафрагм, проходящие через оптическую ось, параллельны друг другу, а их изображения служат границей раздела наблюдаемых на экране полей.

На чертеже представлена принципиальная схема описываемого проектора.

Два участка 1, 2 наблюдаемого объекта освещают источниками света 3, 4 с помощью конденсоров 5, 6 полупрозрачных зеркал 7, 8, отражательных зеркал 9, 10 и объективов 11, 12. Изобра кения этих участков объекта с реперными знаками совмещения 13 проецируются объективами 11, 12 (тубус «Бесконечность) и тубусными линзами 14, 15 в плоскость полевых диафрагм 16, Г/, которые экранируют внешние половины промежуточных изображений наблюдаемых участков объекта. За полевыми диафрагмами 16, Г/ установлены проекционные окуляры 18, 19, которые одновременно проецируют изображения нолевых диафрагм в плоскость экрана 20 с помощью зеркал 21, 22, 23 и призмы 24 с зеркальными отражающими гранями. Границей раздела полей, наблюдаемых на экране проектора, служат изображения краев

полевых диафрагм, которые в процессе юстировки прибора с помощью поворотных зеркал 1 и 22 устанавливаются параллельными и соприкасающимися. Сканирование изображений, наблюдаемых

участков объекта, осуществляется перемещением объективов 11, 12 вместе с зеркалами 9, 10. При этом не нарушается фокусировка на эК)ране проектора.

Предмет и з о б р е т е н li я

Двупольный проектор, состоящий из двух оптических проекционных систем, осветительных устройств и экрана, отличающийся тем,

что, с целью упрощения оптической системы, в каждом проекционном канале в плоскости промежуточного изображения установлены полевые диафрагмы, причем края этих диафрагм, проходящие через оптическую ось, параллельны друг другу, а их изображения служат границей раздела наблюдаемых на экране полей.

rtI хх-