Двупольный проектор Советский патент 1987 года по МПК G03B21/10 

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к устройствам, позволяющим осуществить одновременное наблюдение за двумя об.ъектами или двумя участками одного объекта, и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки

Целью изобретения является упрощение конструкции при одновременном увеличении поля зрения прибора.

На фиг.1 представлена принципиальная оптическая схема проектора; на Лиг. 2- - вид поля зрения в плоскости просветного экрана проектора; на фиг.З - вид сечения по диаметру световых пучков формирующих каналов плоскостью, перпендикулярной про- светному экрану проектора.

Двупольный проектор содержит осветительные устройства с источниками света 1 и 2, конденсаторами 3 и 4, проекционные объективы 5 и 6, сопряженные через отражательную систему, выполненнную в виде размещенных за каждым проекционным объективом 5 и 6 под углом к их оптическим осям полупрозрачных зеркал 7 и 8, с тубусными линзами 9 и 10 формирующих оптически каналов, выполненных в виде расположенных за линзами 9 и 10, первых яер кал 11 и 12, проекционнных окуляров 13 и 14, вторых зеркал 15 и 16, за которыми установлен непрозрачный экран 17 и просмотровый экран 18 г лупой 19,

Непрозрачный экран 17 установлен на оптическое оси проектора пара.гг- лельно основному экрану на расстоянии, определяемом из соотншиения

и срезает часть лучей света (фиг-. 2 и 3), формирующих изображение двух участков 20 и 21 объекта на экране 18 проектора, и образует на поверхности просмотрового экрана 18 тень, которая является границей раздела наблюдаемых О на экране полей. Для установки непро- гзрачного экрана 17 формирующие каналы разнесены (фиг.2) и расстояние между оптическими осями каналов в плоскости установки просмотрового экрана 18 5.5 удовлетворяет условию максимального использования поля зрения каждого формирующего канала

„ 2у IT

(2)

где 2у - диаметр поля зрения отдельного канала.

Непрозрачный экран 17 установлен в положении, обеспечивающем резкую теневую границу раздела наблюдательных полей и экранирование налагающихся на просмотровом экране 18 участков изображений Отдельных формирующих каналов проектора, при этом ширина Z экрана 17 определяется из соотношения

J5

-L 21 -„11 S ( 1) 72+ (/I+1)

(3)

0

5

0

5

0

5

О .5

Двупольный проектор работает следующим .образом,

Два участка 20 и 21 наблюдаемого объекта освещаются источниками света 1 и 2 с помощью конденсаторов 3 и 4, полупрозрачных зеркал 7, 8 и объектов 5 и 6,

Изображение этих участков объекта с реперными знаками совмещения проецируется объективами 5 и 6 (тубус беско ечность)., тубусными линзами 9 и 10, зеркалами 11 и 12, проекционными окулярами 13, 14 и зеркалами 15 и 16 в плоскость экрана 18. Не- прозрачны экран 17 с параллельными острыми краями срезает часть лучей (, формирующих изображение двух участков 20 и 21 об7,екта на экране 18 проектора, образуя на поверхности экрана 18 тень, которая является границей раздела наблюдаемых полей. Изображение участков 20 и 21 объекта 1га экране 18 проектора рассматривается через лупу 19.

Формула изобретения

Двупольны проектор, содержащий две осветительные системы, два проекционных объектива, каждый из которых через размещенную за ним отражательную систему сопряжен с соответствующей тубусной линзой и проекционным окуляром формируюя1Их оптических каналов, а также узел разделения полей и просмотровый экран, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции при одновременном увеличении поля зрения, узел -разделения полей выполнен в виде непрозрачного экрана прямоугольной формы, установленного на оптической оси, проектора перед просмотровым

экраном на расстоянии X от него, определяемом из соотношения L(i2- t)

X

L

расстояние между просмотровым экраном и плоскостью расположения выходных зрачков формирующих каналов.

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при визуальном контроле фотошаблонов и интегральных схем в процессе сборки. Цель изобретения - упрощение конструкции проектора при выхоЗной ipatfOK ffflOffT- 1(ианна о ffoHef,/Ta OffT- одновременном увеличении его поля зрения. На оптической оси проектора на определенном расстоянии от просмотрового экрана 18 установлен.непрозрачный экран 17, срезающий часть световых лучей, формирующих изображение участков 20 и 21 объекта на экране 18. Изображение этих участков с реперными знаками совмещения проецируется объективами 5 и 6,линзами 9 и 10, зеркалами 11, 12 и 15, 16, окулярами 13 и 14 и рассматривается через лупу 19. Непрозрачньй экран 17 образует на поверхности просмотрового экрана тень, являющуюся границей раздела наблюдаемых на нем полей. 3 ил. JS № i (Л to со о to 09 С

rrpofffLSt cv/// 7

ef7 /УГ7А Л/7ЙГ ff /7/rOCt

Wa/re

/7/y(7efi /rfO O( ff

/V7ac/fac/77a a/f/xwa

j&ir/) 3pcff/a/f

u.J

Редактор Н.Горват

Составитель С.Шигалович

Техред М. Ходанич Корректор А.Зймокосов

Заказ 7898/43 Тираж 442Подписное

ВНИИГТИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

.Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4