СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Советский патент 1973 года по МПК F04B37/08 

1

Изобретение касается вакуумной техники, в частности сверхвысоковакуумных установок, в которых неконденсируемые газы откачивают установленными в рабочем объеме криосорбционными насосами, охлаждаемыми л идким или газообразным гелием.

Известны сверхвысоковакуумные установки, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположена теплоизолированная охлаждаемая камера, снабженная в рабочем объеме криосорбционным насосом.

Однако при разгерметизации камеры атмосферы воздействует на сорбент.

Целью изобретения является предотвращение воздействия атмосферы на сорбент разгерметизации рабочего объема установки.

Для этого криосорбционный насос помещен под кожух и для сообщения насоса с рабочим объемом камеры в кожухе выполнено отверстие, перекрываемое отсечным клапаном при разгерметизации камеры.

Для снижения теплового потока к криосорбц.иоппому насосу кожух снабжен змеевиком для циркуляции хладагента, и на входе в отверстие кожуха установлен оптически непрозрачный экран жалюзийного типа.

На чертеже показана описываемая сверхвысоковакуумная установка.

В герметичном корпусе / расположена охлаждаемая камера 2 с крионасосом 3 и радиационным экраном 4. В рабочем объеме охлаждаемой камеры установлены криосорбционпый насос 5, расположенный под кожухом 6 с отверстием, перекрываемым отсечным клапаном 7. Кожух герметично соединен с днищем 8 охлаждаемой камеры. С нар жной стороны кожуха навит змеевик 9. Отверстие в кожухе защищено экраном 10 жалюзийного типа.

Герметичный корпус / соединяется клапаном 11 с насосами предварительного разрежения, рабочий объем камеры 2 при откачке его этими насосами сообщается с межкамерным пространством посредством клапана 12.

Клапан 7 используют также и для перекрытия входа откачного тракта 13, используемого при регенерации криосорбционного насоса 5. Камера 2 оборудована манометром 14 и датчиком массспектрометра 15, а криосорбционный насос 5 оснащен нагревателем 16 для

высокотемпературной регенерации сорбента.

Активация сорбента осуществляется через

клапан 17.

В процессе активации отверстие на кожухе 6 перекрывается клапаном 7, а откачка камер 1 и 2 насосами предварительного разрежения ведется через клапан // (клапан 12 при этом открыт). При давлении в рабочем объеме тор камера 2 отсекается от

межкамерного объема клананом 12. Клапан 7