аС?СОгОЗНАЯ п/»т^^нтн0.1Тп[;!?ч^^м&й Советский патент 1973 года по МПК G01N27/62 B01D59/44 

1

Изобретение относится к области массспектрометрии.

Известно устройство Бернгарда и Грейпнера аналогичного назначения, которое характеризуется тем, что ионы, проходящие через входную щель ионноэлектронного преобразователя, попадают в наклонное однородное электрическое поле и бомбардируют металлическую пластину, расположенную параллельно входной щели. Вторичные электроны ускоряются в однородном поле и бомбардируют люминесцентный экран, который находится под высоким потенциалом.

Однако вследствие того, что люминесцентный экран находится под высоким потенциалом, необходимы специальные меры электроизолядии. Кроме того, это устройство работает с источниками ионов больших энергий, что требует использования магнитов с больтой напряженностью магнитного поля.

С целью использования ионных источников с меньшим ускоряющим потенциалом и магнитных полей меньшей напряженности, устранения потерь интенсивности линий масс-спектра в выходном окне, увеличения чувствительности ионноэлектронного преобразо-вателя, в предложенное устройство для регистрации масс-спектра введена ускоряющая цилиндрическая одиночная линза, крайние электроды которой .заземлены.

На чертеже показана схема устройства.

Устройство содержит одиночную цилиндрическую линзу, состоящую из пластины / со щелью, входящей в электрод 2, электроды 3 и 4 (электроды 2 и 4 находятся под потенциалами земли, а на электрод 3 подается высокий, отрицательный относительно земли, потенциал), плоский отклоняющий конденсатор, образованный пластиной 5 и алюминированным люминесцентным экраном. Пластина 5 находится под тем же потенциалом, что и электрод 3, а люминесцентный экран нод потенциалом земли. Экран представляет собой нрозрачную подложку, на которой нанесен люминофор 6, нокрытый слоем алюминия. Люминесцентный экран )закуумно-плотно присоединен к камере масс-анализатора 7. Все устройство расположено между полюсами магнита 8 масс-анализатора.

Ионные пучки, разделенные в масс-анализаторе по величинам м/е, расположенные в плоскости, пернендикулярной плоскости чертежа, и вырезанные по высоте щелью в электроде 2, попадают в цилиндричексую одиночную линзу и дополнительно ускоряются в ней. После ускорения, пройдя щель в пластине 5,

ионные пучки попадают в электрическое поле плоского Конденсатора, отклоняются в нем к пластине 5 и выбивают с ее поверхности вторичные электроны, которые ускоряются электрическим полем этого же копденсатора. Вторичные электроны, пройдя слой алюминия, вызывают свечение люминофора 6. Массспектр представляет собой набор светящихся полосок, интенсивность каждой масс-спектральной линии пропорциональна ионному току соответствующей массы ионов. Получениый масс-спектр записывается внещним регистрирующим устройством, например кинокамерой.

Предмет изобретения

Устройство для регистрации масс-спектра, состоящее из масс-анализатора с прямой линией фокусов и ионноэлектронного преобразователя -с отклоняющим конденсатором, отличающееся тем, что, с целью использования ионных источников с меньшим ускоряющим потенциалом и магнитных полей меньшей напряженности, устранения потерь интенсивности линий масс-спектра в выходном окне, введена ускоряющая -цилиндрическая одиночная линза, крайние электроды которой заземлены.