РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ КАТОДОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО АНАЛИЗАВ П Т В- ff^ •• V Г»1 .'^ S • "^ г г ~' Е'^ ^^ р.cpoiifi aiiiiHfchii Советский патент 1974 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к области растровой электронной микроскопии люминесцирующих твердых тел.

Известен растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптическую, отклоняющую и приемную системы.

Иедостатком такого микроскопа является то, что изображение поверхности в катодолюминесцентном излучении формируется с помощью фотоэлектронного умножителя с гпнрокой спектральной характеристикой, что не позволяет одновременно оценить области образца, люминесцирующие в каком-то узком интервале длин волн.

Одновременный анализ образца в различных участках спектра обеспечивается за счет того, что в предлагаемом микроскопе приемная система выполнена в виде нескольких фотоумножителей с различными спектральными характеристиками, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканальtroro устройства, к выходам которого подключены выходы фотоумножителей. Это позволяет передавать одновременно видеосигнал по всем каналам в любом заранее заданном диапазоне спектра одновременно.

На чертеже изображен предлагаемый микроскоп.

Растровый электронный микроскоп содержит источник электронов (электронная nyuiка) 1, электронно-оптическую систему 2, отклоняющую систему 3, образец 4, фотоэлектронные умножители 5, фильтры 6, видеоконтрольное устройство 7.

Электронная пушка 1 и электронно-оптическая система 2 формируют топкий электронный зонд 8, развертываемый по образцу 4 в растр отклоняюн.1ей системой 3. При взаимодействии электронов луча с веществом возникающее катодолюминесцентное излучение регистрируется после прохождения фильтров 6 фотоумножителями 5. Возникающий на выходе фотоумножителей видеосигнал поступает на вход многоканального видеоконтрольного устройства 7 и вызывает яркостную модуляцию светового нятна на видеоэкране, формируя тем самым изображение поверхности образца в катодолюминесцентной интерпретации. Для идентификации точек изображения и поверхности объекта развертки луча микроскопа и луча в кипескопе видеокоптрольного устройства синхронизированы.

Благодаря одновременной передаче сигналов при помощи многоканальной видеосистемы возможно получепие стереоскопического изображения, возможно исследование динамических процессов (например, температурные

изменения в веществе), влияющих на катодолюминесцентные свойства вещества.

Предмет изобретения

Растровый электронный микроскоп для катодолюминесцентного анализа, содержащий источник электронов, электроннооптическую систему, формирующую электронный луч, отклоняющую систему, разворачивающую луч в

растр на исследуемом образце, и приемную систему, отличающийся тем, что, с целью одновременного анализа образца в различных участках снектра катодолюминесцентного излучения, приемная система выполнена в виде нескольких фотоумножителей, светофильтров, установленных перед фотоумножителями, и многоканального вндеоконтрольного устройства, к выходам которого нодключены выходы фотоумножителей.

X

к

X