СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ НА КВАРЦЕВЫ1КОНТЕЙНЕРВПТ Б^НД ЗНШ^ЕРТОЕ Советский патент 1974 года по МПК C03C17/30 

1

Изобретение относится к способу нанесения покрытия на кварцевый контейнер путем воздействия газообразными продуктами при нагревании.

Цель изобретения - обеспечить возможность работы контейнера при температуре, выше температуры размягчения кварцевого стекла.

Достигается это тем, что воздействие осуществляют газообразной смесью 7-10 об.% метилтрихлорсилана в водороде при 1000- 1200°С.

Стенки кварцевого контейнера, через который пропускают смесь 7-10 об.% метилтрихлорсилана с водородом, прогревают газовой горелкой до 1000-1200°С. После образования пленки толщиной 2-6 мкм горелку продвигают вдоль контейнера. При этом сам контейнер равномерно вращается вокруг своей оси со скоростью 100-300 об/мин. После получения защитного покрытия контейнер отжигают в атмосфере водорода для удаления следов метилтрихлорсилана и оставляют охлаждаться до комнатной температуры.

Обработка германия и антимонида индия для получения монокристалла в контейнере с покрытием, нанесенным по предложенному способу, обеспечивает чистоту получаемого в нем продукта.

Предмет изобретения

Способ нанесения покрытия на кварцевый контейнер путем воздействия газообразными продуктами при нагревании, отличающийс я тем, что, с целью обеспечения работы контейнера при температуре, выше температуры размягчения кварца, воздействие осуществляют газообразной смесью 7-10 об.% метилтрихлорсилана в водороде при 1000-1200°С.