МНОГОКАНАЛЬНЫЙ АНАЛИЗАТОР АТОМНЫХ ЧАСТИЦ Советский патент 1974 года по МПК G01N27/62 B01D59/44 

1

Изобретение относится к устройствам для энергетического анализа нейтральных и заряжанных частиц, испускаемых плазмой.

Известный анализатор атомных частиц содержит источник ионов, электростатический конденсатор и детектор ионов. Электростатический конденсатор состоит из плоскопараллельных пластин, расположенных под углом 45 к оси источника ионов, причем в одной из пластин имеются щели, выполненные на различных расстояниях от входной щели анализатора. Число таких щелей равно числу детекторов, установленных за этими щелями.

Недостатки известного анализатора следующие:

а)больщие потери частиц на стыках между детекторами;

б)малая относительная светосила высокоэнергетичных каналов;

в)больщое влияние электромагнитного излучения плазмы на засветку детекторов.

Целью изобретения является уменьшение потерь частиц в процессе анализа; увеличение относительной светосилы в области высокоэнергетичной части спектра; обеспечение защиты детекторов от влияния электромагнитного излучения плазмы. .

Сущность изобретения заключается в том, что между электростатическим анализирующим конденсатором частиц по энергиям и си2

стемой детектирования ионов установлены концентрически изогнутые канальные отклоняющие пластины с радиальным электрическим полем.

На чертеже показан пятиканальный анализатор атомных частиц.

Анализатор состоит из источника ионов 1, электростатического анализирующего конденсатора 2, одна пластина которого параллельна оси источника ионов, а другая расположена под углом к этой оси. За конденсатором установлены канальные отклоняющие системы 3 с радиальным электрическим полем. За счет фокусирующих свойств радиального

электрического поля уменьшаются потери анализируемых частиц и, следовательно, увеличивается светосила прибора. На выходе отклоняющих систем размещены детекторы ионов 4.

Нредмет изобретения

1. Многоканальный анализатор атомных частиц, содержащий камеру ионизации, электростатический анализирующий конденсатор и систему детектирования ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения светосилы прибора, между электростатическим анализирующим конденсатором и системой детектирования ионов установлены концентрически выгнутые канальные отклоняющие пластины.

2. Анализатор по п. 1, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов прибора, часть одной из пластин анализирующего конденсатора расположена под углом оси камеры ионизации.