УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ НАНЕСЕНИЯ ВАКУУМНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ИЗДЕЛИЯ Советский патент 1974 года по МПК C23C14/54 

1

Изобретение относится к нанесению вакуумных покрытий на изделия.

Известно устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий на изделия, содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике. Известное устройство характеризуется малой точностью контроля толщины покрытия, скоростью конденсации и равномерностью покрытия. При этом точность контроля, обеспечиваемая известным устройством, уменьшается с увеличением толщины вакуумных покрытий и повышением скорости конденсации.

Целью изобретения является повышение точности контроля скорости конденсации и обеспечение равномерности нокрытия. Это достигается тем, что приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещения относительно измерителя толщины -покрытия.

На чертеже показано описываемое устройство.

Оно устанавливается в рабочей камере 1, установки для нанесения покрытий. В рабочей камере 1 смонтированы также механизм 2 крепления и перемещения (вращения) обрабатываемого изделия 3, испаритель, содержащий электронную пущку 4, магнитную отклоняющую систему 5 и жаростойкий тигель б с испаряемым материалом. Собственно устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий смонтировано в кожухе 7, в стенке которого, обращенной к тиглю 6, выполнена щель 8. В кожухе помещен рулон 9

ленты 10, выполненной из прозрачного материала (например, лавсановой пленки). Ленту 10 с помощью роликов 11 перемещают перед щелью 8 и сматывают на барабан 12. За щелью 8 на некотором расстоянии по ходу

перемещения ленты 10 смонтирован измеритель толщины конденсата на ленте 10, выполненный из установленного с одной стороны ленты коллимированного источника света 13 и ориентированного на него фотоприемника 14, установленного с другой стороны ленты.

При испарении металла из тигля 6 часть потока паров достигает поверхности изделия 3 и конденсируется на ней. Другая часть

этого потока паров через щель 8 достигает Поверхности ленты 10, перемещаемой с постоянной скоростью.

Скорость перемещения ленты 10 устанавливают такой, чтобы на ее поверхности получался сплошной полупрозрачный слой конденсата.

После прохождения щели 8 лента 10 проходит мимо изл1ерителя толщины конденсата. Луч света от коллимированного источника света 13 просвечивает ленту 10 с полупрозрачным слоем конденсата. Интенсивность прошедшего света регистрируется фотоприемником 14, в качестве которого могут быть использованы фотосопротивление, фотоэлемент и др.

Интенсивность светового луча, прошедшего через слой конденсата, характеризует толш,ину этого слоя, а следовательно, скорость нанесения покрытия в момент конденсации этого слоя.

Возможно также использование ленты из любых других (непрозрачных) материалов, в частности металлической ленты. Могут применяться самые различные измерители толщины конденсата на ленте - магнитные, рентгеновские, радиационные и др.

Описываемое устройство относится к устройствам дифференциального типа. Обеспечиваемая им точность контроля скорости нанесения вакуумных покрытий постоянна во времени и определяется точностью измерения толщины конденсата на ленте.

Предмет изобретения

Устройство для контроля скорости нанесения вакуумных покрытий на изделия, содержащее приемник конденсата и измеритель толщины конденсата на приемнике, отличающееся тем, что, с целью повышения точности контроля скорости конденсации и обеспечения равномерности покрытия, приемник конденсата выполнен в виде ленты, установленной с возможностью перемещения относительно измерителя толщины конденсата.

-;