СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОЩЕЛОЧНОГО ФОТОКАТОДА Советский патент 1974 года по МПК H01J9/12 H01J40/06 

1

Изобретение относится к электровакуумной технике, а именно, к технологии фотоэлектронных приборов.

Известен способ изготовления многощелочного фотокатода, включающий активировку слоя сурьмы одновременно в парах калия и натрия при повыщенной температуре (в частности и при неоднократном подпылении сурьмы).

Однако при этом получают низкую устойчивость к большим токовым нагрузкам, а технологический процесс изготовления фотокатода сложен.

Этого можно избежать при использовании предлагаемого способа (применительно к массивному многощелочному фотокатоду) благодаря повыщению температуры активировки до 300-320°С и выбору соотношения исходных щелочных металлов (10-12,5 вес. % калия).

Одновременно активировку производят за один технологический цикл при повышенном давлении смеси паров калия и натрия над слоем сурьмы. Это обеспечивается значительным повышением температуры активировки.

Способ опробован при изготовлении фотоэлементов, при этом получены следующие параметры фотокатодов:

Интегральная чувствительность мка/лмдо 420

Квантовый выход в максимуме, %27 Квантовый выход на длине волны 700 мм, %7 Допустимая плотность тока в

фактическом режиме, мка/см до 170 Допустимая плотность тока в импульсном режиме, ма/см,

при 300 вдо 120

при 1000 вдо 2000.

Предмет изобретения

Способ изготовления многощелочного фотокатода, включающий активировку сурьмы одновременно в парах калия и натрия, о т л ичающийся тем, что, с целью повышения токоустойчивости, активировку осуществляют при температзре 300-320°С и концентрации исходного калия 10-12,5 вес. % от исходного натрия.