Конденсорная линза Советский патент 1974 года по МПК H01J37/26 H01J29/64 

1

Изобретение относится к электронной оптике и может быть использовано в электронных микроскопах и подобных электронно-оптических устройствах.

Известные конденсорпые линзы, содержа цие катушку электропровода, магнитопровод и полюсный наконечник, в щели которого формируется фокусирующее магнитное поле, имеют однощелевой полюсный наконечник, который не обеспечивает получение наименьшего сечения в диаметре, не позволяет получить плотность тока в этом сечении более 0,2 а/см.

Цель предлагаемого изобретения - создание конденсорной линзы, позволяющей повысить плотность электронного пучка.

Это достигается тем, что полюсный наконечник линзы выполнен двухщелевым с диапазоном отношений расстояния от кроссовера до средней плоскости первой щели к расстояВИЮ между щелями, равным 0,67-0,58 и произведением увеличений первой и второй щели, равным значениям в интервале 1/70-1/120.

На чертеже изображено предлагаемое изобретение.- ,

Конденсорная линза состоит из, магнитопровода 1, катушки 2, нижнего и верхнего башмаков полюсного наконечника 3 и, 4, антимагнитного кольца 5, средней части йаконечпика 6, антимагнитного кольца 7.

Кроме того, на чертеже приняты следующие обозначения: кроссовер Гд пушки, средние плоскости Сп/щ и С„//щ полей, расстояние Zo от кроссовера до средней плоскости первой щели, расстояние L между щелями.

Конденсорная линза выполнена следующим образом.

В магнитопроводе 1 размещена катушка 2, а в центральном отверстии линзы в соответствии с оптической осью Z расположен двухщелевой полюсный наконечник, у которого диапазон отношений расстояния от кроссовера до средней плоскости первой щели (Zo) к расстоянию между щелями (L) равен 0,67-

/Zo

0,58 I ,67-58 I и произведение увеличе

НИИ (увеличение первой щели Vi на увеличение второй щели) выполнено в диапазоне

1 /т/ т/ 1 1 г

19п(7(7 19п) обеспечивает радиус наименьшего сечения пучка на объекте (гг) от 0,5 мк до 0,3 мк и наибольшую плотЯ

ность тока в этом сечении до 3 - .

см

Предлагаемая Конденсорная линза работает следующим образом. Созданный электромагнитной катушкой 2 магнитный поток магнитопроводом 1 направляется в верхний полюсный башмак полюсного наконечника 3, который направляет его в первую щель А. Таким образом, в первой щели создается магнитное поле нужной формы и величины, которое обеспечивает первую фокусировку электронного пучка с . То есть, за счет конструктивных соотношений двухщелевого наконечника 0,68-0,57 и ПОЛЮСНОГО

Vi V2 - - -

изображение первой щели

70 120

будет уменьшенным (,2 ). Сформированный электронный пучок первой щелью с условием , направляется во вторую щель, которая вторично фокусирует его с условием дальнейшего сжатия (уменьшения диаметра (радиуса) пучка, т. е. обесПредмет изобретения

Конденсорная линза, состоящая из магнитопровода, магнитной катушки и полюсного наконечника, отличающаяся тем, что, с целью повышения плотности электронного пучка, полюсный наконечник выполнен двухщелевым. печивает (,3 ,2 ). То есть, за счет конструктивных соотношений ,68-0,57 и FI конденсорная L70 120 линза, снабженная двухщелевым полюсным наконечником, указанного конструктивного отличия обеспечивает наименьший радиус (а) пучка с плотностью тока в этом сечении а см2 j,.g gjjee 3