УСТРОЙСТВО для ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ Советский патент 1973 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к области электронной М1ИК|рОСКОПИИ.

В известных устройствах для формирования изображения в электронном микроскопе, содержащих объективную магнитную линзу и каскадный конденсорлый блок, состоящий из короткофокусной и длиииоф,окусной магнитных линз, включающих в себя полюсные наконечииюи со щеля.ми, короткофокусиая конденсорная лииза является однощелевой.

При П01МОЩИ первой однощеле,вой колде.нсорной лиизы нельзя одновременно получить наименьшее сечение электронного: пучка и достаточную плотность тока , в этолг сечении. Длиннофокусная «онденсорная линза в известиых устройствах имеет отношение

ос:

0

где Zi- расстояние от средней нлоскости длиннофокусной конденсорной линзы до средней плоскости объективной линзы;

Zo--расстояние от средней плоскости первой коиденсорной линзы до средней плоскости второй конденсорной линзы.

Такое отношение ухудидает параметры конденсорного блока, увеличивая наименьшее сечение пучка в 2,5 раза.

Электронные микроскопы с большим разрешением и электронные .микросконы-микроанализаторы требуют, чтобы диаметр наименьшего сечения электронного пучка, создаваемый кюнденсорным блоком, был менее 1 мк, аплотность тока в этом сеченин 3 Q/C.I.- и более.

В предлагаемом устройстве уменьшение диаметра электронного пучка и увеличение плотности тока в плоскости о бъекта объективной линзы достигаются тем, что короткофокусная конденсорная линза выполне1 а в виде двухщелевой лннзы, причем средняя нлоскость длиннофокусной 1конденсорной линзы расположена н-а один аковом расстоянии от средних плоскостей объективной линзы и второй щели короткофокусной конденсорной линзы, а размер щели полюсного наконечника длиннофокусной линзы совнадает с внутренним диаметром нолюсного наконечника длиннофокусной линзы.

В результате изменения конструкции конденсорного блока достигается наименьшее сечение электронного пучка в плоскости объекта объективной линзы с диаметром менее

1мк и плотностью тока 3 а/слг-.

На чертеже схематически представлен каскадный конденсорный блок предлагаемого устройства.

Конденсорный блок содержит короткофокусную двухщелевую линзу 1 с двумя щелями

2и 3. Первая конденсорная короткофокусная