Способ определения рельефа поверхности Советский патент 1975 года по МПК G01B9/00 G03C9/08 

(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

ственной визуализации отличий рельефе поверхностей сравниваемых объектов.

Цель достигается путем оптического совмещения сравниваемых поверхностей (совмещения световых волн, рассеянных этими поверхностями), помещенных в иммерсионную среду.

На чертеже показана оптическая схема установки для реализации предлагаемого способа,

I Пучок когерентного света от лазера 1 падает на светоделитель 2. Отраженная от делителя часть пучка поступает в оптическую схему 3 формирования опорного пучка и затем на регистрирующий материал для записи голограммы 4, Пучок света, прошедший сквозь светоделитель 2, попадает в оптическую схему 5, формирующую расширенный параллельный пучок света, поступающий в призменную схему 6, которая служит для одновременного освещения поверхностей обоих сравниваемых объектов 7 и 8, помещенных в иммерсионную камеру 9, и для совмещения на голограмме 4 световых волн, рассеянных этими поверхностями.

Голограмму в такой схеме эксйонируют дважды, изменяя перед второй экспозицией коэффициент преломления иммерсионной сре ды 10.

Записанная на голограмме муаровая картина, образованная при наложении двух кон турных рельефных карт, позволяет при восстановлении с голограммы непосредственно судить об отличи$1х в рельефах поверхностей сравниваемых объектов.

Предмет изобретения

Способ определения рельефа поверхности путем попеременного голографирования исг. следуемого объекта, помещенного в иммерсионную среду с различными коэффициентами преломления между экспозициями, отличающийся тем, что, с целью непосредственной визуализации отличий в релье- , фах поверхностей по крайней мере двух раз- личных объектов, перед записью голограммы i оптически совмещают поверхности объектов, помешенных в упомянутую среду.