Способ измерения параметров полупроводниковых приборов Советский патент 1974 года по МПК G01R31/26 H01L21/66 

(54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

1

I Пзобретоние отиосшся к электронной технике и может быть применено для автоматического измерения параметров изго- товляемых полупроводниковых приборов.

Извес;тен способ контроля 11естабильности обратных токов переходов, заключающийся в том, что испытуемому транзистору задают режим измерения по постоянному току, измеряют значения обратного тока в фиксированные моменты времени и, сравнивая эти зр)ачения, опреде1 яют вели«шну } естабильности.

При известном способе измс-;рения невозможио получить информацию об изменениях обратного) тока межщ ;момен1-ами отсчеюв, что необходимо для более характеристики поведения транзистора.

Кроме того, для реализации известно ij способа требую1ся регуляторы носгояипо -о тока, магнитные усилите И, усилители постоянного тока и другие узлы, критичные к воздействию дестабилизирующих факторов.

Цель изобретения - повышение точности измерений.

Поставленная цель дости1 ае-1х.я lei.i, что формируют фазоманипу шрованный сигнал с постоянной амплитудой, имеющий скачки фаз велишной 9Г в точках равенства контролируемой и образцовой , и периодический сигнал, совпадаюин1Й по амплитуде, форме и Д}иг1ельности с первыми двумя дискретами фазоманицуш1рованно1Ч) сигнала, вычитают с({)Ормированные сигаалы и по по- луче1Н10й разности определяют нестабильность.

На фиг, 1 представлена блок-схема для реализации предложенногх) способа; на фиг. 2 - напряжения на выходе узлов блок-схе- . мы,

Блок-схема содержит блок 1 задашш исходных ренсимов испытуемому прибору, подкл1С).1й к блоку развертывающего преобразователя 2, который соединен с формирователем фазс}манипу)и1рованно1х сигнала 3 и 4зг шрователем нериодического сиг- иала 4, Формирователи подключены к блоку 5 измерении мощности разностно1о сигнала и принятия решения. С блока Задания исходных режимов 1, в котором помещен испытуемый прибор, изме ряемый сигнал подается на вход блока 2, где измеряемый сигнал развертывается образцовым сигналом, имеющим периодический характер (фиг. 2, а). Формирователь 3 формирует фазоманипухшрованный Ьигнал с заданной амплитудой, имеющий скачки фаз на 5Г в точках уравновешивания контроли«руемой и образцовой величин (фиг. 2, б), а формирователь 4 формирует периодический сигнал, период которого совпадает по амплитуде, форме и длительности с первыми двумя дискретами фазоманипулированного сигнала (фиг. 2,в). Выходные сигналы формирователей подаются на блок 5, где производится вычитание периодического сигнала из фазоманипулированного и разность приводится к виду исходного фазома- нипулированного сигнала. По разности вычисляют распределение нестабильности во времени. Затем определяют спектральную i мощность разностного сигнала, которая позволяет судить о величине нестабильности п ее распределении по частотному диапазону. Описываемый способ позволяет получить более полную информащ1Ю о поведении транзистора во время испытаний. Формиро- вание фазоманипулирозанного сигнала обеспечивает высокую точность и помехоустойчивость последующих преобразований; фазоманияулированный сигнал является хорощим приближением для теоретически оптимального сигнала, обеспечивающего при измерении ыаибольщее отношение сигнал/помеха; использование простых преобразователей развертывания, вычитания упрощает аппаратурную реализацию способа. Предмет изобретения Способ измерения параметров полупроводниковых приборов, например нестабильности, путем сравнения контролируемой и образцовой величин, отли чающийс я тем, что, с целью повьсдения точности измерений, формируют фазоманипулированный сигнал с постоянной амплитудой, имеющий скачки фаз величиной 5Г в точках равенства контролируемой и образцовой вегличин, и периодический сигнал, совпадающий по амплитуде, форме и дхштельностн с uqpвыми двумя дискретами фазоманипулированного сигнала, вычитают пернодичесль-й сиги;: нал из фазоманипулированного и по полученной разности опреде/шют нестабильность.

(Put. 1