Способ очистки внутренних поверхностей электровакуумных приборов Советский патент 1974 года по МПК H01J9/38 

1

Изоб))С1-енни относится к технологчш изготовденпя электровакуумных приборов.

Изиестен снособ очистка внутренних иоьерхностей электровакуумных приборов в собранном виде путем возбуждения газово- го разряда в меисдуэлектродном пространстве.

Недостатком этого способа очистки являются трудность Ооздания газового разряда, равномерно заполняющего междуэлектродное пространство собранного очи- щаемог(з прибора, а также нарушение свойсач электродов, в частности катодов.

Предложенный способ оч 1стки внутрен- .них поверхностей электровакуумных приборов свободен от указанных недостатков. Он отличается тем, что разряд возбуждают }га частоте электромагнитного резонанса очищаемого междуэлект{юдного пространства.

На чертеже показано устройство для реализации предложенного способа очистки I электровакуумных приборов.

j Выход вспомох ательпого СВЧ-источииi ка мощности 1 через волноводный трои- 1П1К 2, в Е..-плечо которого включен ко 1откозамыкатель 3, соединен с аттенюатоjpOM 4 и далее через измерительный прибор 5, измеряющий проходящую мощность, С СВЧ-вводом 6 очищаемого прибора 7. Штенг-ель 8 прибора соединен с натекат.;лем 9 и вакуумной откачпой системой 1О.

10

Электромад нитпую энергию СВЧ-источника 1 через волноводный тракт, состоящий из элементов 2-3-4-5-6, вводят во внутреннюю полость очищаемого прибора 7, штенгель 8 которого соединен с натека-ie- лем 9 и вакуукшой откачной системой 10.

С помощью короткозамыкателя 3 подстраивается частота сиг-нала, г-еперируемого источником 1, и при подаче рабочогчэ газа через щтeнгeJJЬ 8 в полости очищаемого прибора 7 возникает равномерней I I разряд на частоте электромагнитного резонанса. Для удаления продуктов очистки из внутреннего объема прибора рабочий газ в очищаемую полость вводится нед - «- - прерывно. Вид разряда определяется измерительным прибором 6 по уровню мощности, требуемой для поддержания разряда. При СВЧ-разряде ионная бомбардировка поверхностей незначительна, в результате чего свойства катода сохраняются. Параметры режима очистки: мощность импульсного СВЧ-источника 8-1О квт импульсе при скважности lOOO, давление рабочего газа в очищаемой полости (2i3)« 10 мм рт. ст., время очистки 6-8 мин После проведения цикла очистки приборы размонтировали, и их внутренние поверхности подвергли анализу на наличие гидрофобных аагрязнений, уровень которых измеренный методом конденсации, состаилЛ/0,01 мкг/см при начальном уров е загрязнения перед сборкой ОД мкг/см . Операция очистки собранного электроакуумного прибора может производиться J Jf 1VJ.-/ v .- - ., л., п fi J« важды: перед активировкой катода и пеед отпайкой прибора. изобретения Предмет Способ очистки внутренних поверхнос- ; тей электровакуумных приборов путем возбуждения газового разряда, отличающийся тем, что, с целью создания газового раз1.|яда, равномерно заполняющего междуэлектродное пространство и не нарушающего сьюйства электродов, разряд возбуждают на частоте электромагнитного резонанса очищаемого междуэлектродного пространства.

-О