Растовый электронный микроскоп Советский патент 1975 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к электронно-оптическнм приборам н может быть использовано в растровых электронных микроскопах.

Известны растровые электронные микроскопы, в которых сканирование электронного зонда по объекту и отклонение электронного луча в кинескопе видеоконтрольного устройства нроизводят по схеме построчной или чересстрочной развертки. Недостатком известного микроскопа является нечеткость изображения в налравлении луча ло строке.

Цель изобретения - повышение четкости изображения на кинескопе видеоконтрольного устройства растрового электронного микроскопа.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что между генераторами пилообразного напряжения вертикальной и горизонтальной разверток и отклоняющими системами, размещенными в колонне микроскопа и видеоконтрольном устройстве, установлен коммутатор, с помощью которого синхронно переключают токи разверток в отклоняющих системах для получения изотропного растра.

На чертеже показана блок-схема предложенного растрового электронного микроскопа.

Микроскоп состоит из КОЛОННЫ 1 и видеоконтрольного устройства. В вакуумно-герметичной колонне размещены электронная пушка 2 и фокусирующая линза 3, составляющие осветитель, отклоняющая система 4, служащая для сканирования электронного зонда 5 по объекту 6, и детектор 7, воспринимающий

полезный сигнал с объекта, который подается затем на вход усилителя 8.

Видеоконтрольное устройство содержит блок 9 генераторов кадровой и строчной разверток, электроннолучевую трубку, например

кинескоп 10, с фокусирующей и отклоняющей с стемой 1 и коммутатор 12, выполненный, например, на триггерных каскадах.

Электроны, полученные и ускоренные в электронной пушке 2 и сфокусированные линЗОЙ 3 на электронный зонд 5, проходят через область действия отклоняющей системы 4 и попадают на исследуемый объект 6. Две пары идентичных отклоняющих катушек, к которым подают нилообразное напряжение частоты

кадров и строк от блока генераторов разверток 9, отклоняют зонд 5 таким образом, чго электроны зонда бомбардируют последовательно различные участки поверхностп объекта 6, образуя на ней линейчатый растр. 0тклоняющая система 11 кинескона (две пары идентичных отклоняющих катушек) отклоняет электронный луч синхронно с отклонением зонда в колонне микроскопа, в результате чего на экране кинескопа получают также

линейчатый растр.