Электронный микроскоп Советский патент 1979 года по МПК H01J37/26 

(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

I

Изобретение относится к облас и элект,ронно-микроскопического приборостроения и может быть использовано в просвечивающей электронной микроскопии.

Известны электронные микроскопы, содержащие электронную пушку, конденсорный блок, отклоняющую систему и систему формирования изображения. Недостатком известного устройства является изменение яркости свечения флуоресцирующего экрана при изменении увеличения электронного микроскопа, что приводит к снижению контраста изображения объекта при больщих увеличениях и увеличивает продблжительность исследования из-за необходимости проведения дополнительной юстировки 1.

Наиболее близким к изобретению техническим реЩением является просвечивающий растровый электронный микроскоп, содержащий электронную пущку, растровые отклоняющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор разверток, флуоресцирующий экран и растровую приставку 2.

Данное устройство позволяет работать в .просвечивающем режиме со сканированием первичного электронного пучка по объекту и получением изображения на флуоресцирующем экране.

При работе в этом режиме известное устройство имеет тот же недостаток: с изменением увеличения электронного микроскопа изменяется яркость свечения флуоресцирующего экрана.

Целью изобретения является стабилизация уровня яркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличения.

Цель достигается тем, что в предлагаемом устройстве регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток и регулирующим изменение тока растрирования отклоняющих катушек в зависимости от тока промежуточной линзы согласно соотношению

УЛР-В,

где К - коэффициент пропорциональности, величина постоянная;

I - ток растрирования, подаваемый на растровые от.клоняющие катущки;

I - ток обмотки промежуточной линзы; A - коэффициент увеличения проекционной линзы; В - коэффициент увеличения объективной ЛЙЙЗЫ. Конструкция устройства поясняется чертежом, где показаны электронная пушка 1, конденсорный блок 2, растровые откло51яющие катушки 3, электронный луч 4, исследуемый объект 5, предметная плоскость 6 объективной линзы 7, объективная линза 7, промежуточная линза 8, плоскость 9 изображения промежуточной лин:зы, проекционная линза 10, флуоресцирующий экран 11, стабилизатор тока 12 промежуточной линзы, регулятор тока с функциональным преобразователем 13, генератор разверток 14. Коэффициенты увеличения промежуточной Ли электронной В линз рассчйтьшаются известным образом для конкретных значений расстояний между предметной пйрскрстью объективной линзы и ее средней плоскостью йо, между средними плоскостями объективной и промежуточной линз 2ot и между средней плоскостью промежуточной, линзы и, ее плоскостью изображения в . Устройство работает следующим образом. Сформированный электронной пушкой и электронно-оптической системой электронный луч диаметром 300-1000 А сканируют по образцу с частотой кадров порядка 20- 25 кадров в секунду. При данных значениях частоты развертки электронного луча и его диаметра на флуоресцирующем экране электронного микроскопа формируется монолитная картина, полученная в параксиальной зоне объекта со стороной растра 3-4 мкм. При изменении увеличения электронного микроскопа с помощью регулятора тока изменяют ток обмотки промежуточной линзы. Одновременно функциональный преобразователь регулятора тока изменяет величину тока растрирования отклоняющих катушек согласно приведенному соотношению, что обеспечивает изменение площади растра

eSI«3,

.

663001 электронного луча на поверхности объекта обратно пропорционально увеличению электронного микроскопа. Это обеспечивает сохранение постоянной яркости изображения на флуоресцирующем экране при изменении увеличения. Формула изобретения Электронный микроскоп, содержащий электронную пушку, растровые отклоняющие катущки, электронно-оптическую систему со стабилизатором тока и регулятором тока промежуточной линзы, генератор разверток и флуоресцирующий экран, отличающийся тем, что, с целью стабилизации уровня яркости флуоресцирующего экрана при изменении увеличения, регулятор тока промежуточной линзы снабжен функциональным преобразователем изменения тока по зависимости : . VAp-в; где К - коэффициент пропорциональности; /р- ток растрирования, подаваемый на растровые отклоняющие катущки; I - ток обмотки промежуточной линзы; А - коэффициент увеличения проекционной линзы; В - коэффициент увеличения объективной линзы, электрически соединенным со стабилизатором тока промежуточной линзы и генератором разверток. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Электронный микроскоп ЭМВ-ЮОЛМ, Техническое описание и инструкция по эксплуатации ЦФ 1.720.011 ТО, Йнешторгиздат, 1972. ;. 2.Scanning Electron Microscope Attachment Pilips 1970, Printed in the Netherlands, 7010.01.4550.11.

Tf

663001