Электроразрядный манометр Советский патент 1975 года по МПК G01L21/34 

(54) ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для измерения давления газа или пара. Известны электроразрядные манометры релаксационного типа, в которых в результате подключения к загоразрядному промежутку манометрического преобразователя нелинейного элемента (например, RC-цепи) возникают колебания. Мерой давления таких манометров является частота релаксационных колебаний. Нестабильность колебаний манометров данного типа, связанная с изменением напряжения горения Uz разрядного промежутка во времени, приводит, к значительным погрешностям измерения. Более высокая точность измерения предложенного манометра достигается за счет увеличения стабильности зажигания основного разряда в результате возникновения вспомогательного разряда непосредственно в разрядном промежутке. С этой целью манометр снабжен диодом и дополнительным сопротивлением. Причем емкость через диод подключена к аноду преобразователя. Анод подключен к источнику постоянного напряжения через дополнительное сопротивление, а емкость - через балластное сопротивление. На фиг. 1 представлена принципиальная схема манометра. Он содержит манометрический преобразователь 1 с двумя электродами (анодом ,2 и катодом 3), источник питания Еа, сопротивления R и Rz, емкость С и диод D. Манометр работает следующим образом. В разрядном промежутке преобразователя 1 зажигается вспомогательный разряд, который возникает всегда раньше чем на емкости С потенциал достигнет величины U. При этом необходимо соблюдать условие 1(Ср-ЬСд) (где Ср - межэлектродная емкость манометрического преобразователя, Сд - эквивалентная емкость диода). На фиг. 2 представлен график зависимости вольт-амперной характеристики. Рабочая точка а вспомогательного разряда выбирается на прямолинейном участке вольтамперной характеристики, что достигается при определенных значениях величин R и (/а. Когда емкость С зарядится до напряжения горения Uz происходит пробой разрядного промежутка. Ток основного разряда, протекаюш;ий через малое внутреннее сопротивление Rz (представляющее сумму сопротивлений диода

в прямом направлении и емкости) проходит по фазовой траектории б. После пробоя разряд гаснет, начинается новый зарядный цикл .и т. д. Во время накопления заряда напряжение на емкости всегда меньше напряжения горения Uz, поэтому отсутствует ток через диод D.

Мерой давления манометра может быть длительность релаксационных колебаний.

Манометрический преобразователь целесообразно выполнить с каоксиально расположенными электродами, так как в этом случае может быть использован источник питания с меньшим рабочим напряжением.

Предмет изобретения

Электроразрядный манометр, содержащий манометрический преобразователь диодного

типа, емкость, включенную между анодом и катодом преобразователя, балластное сопротивление и источник постоянного напряжения, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности измерения, он снабжен диодом

и дополнительным сопротивлением; причем емкость подключена к аноду преобразователя через диод, анод подключен к источнику постоянного напряжения через дополнительное сопротивление, а емкость - через балластное

сопротивление.