Электростатическое реле Советский патент 1975 года по МПК H01H59/00 

увеличение напряжения замыкания, уменьшение сил размыкания контактов и контактного давления.

Для сохранения постоянства этих зазоров в предложенной конструкции реле изолирующая подложка имеет углубление, в котором размещен неподвижный контакт, причем величина углубления, выбрана равной общей толщине контактной пластины и изолирующего слоя.

В качестве материала изолирующего слоя используется двуокись кремния (толщина 0,5 мкм) как материал, обладающий высокой электропрочностью, механической прочностью, устойчивостью к окружающей среде, хорошими диэлектрическими свойствами.

Предмет изобретения

Электростатическое реле, содержащее подвижную пластину, выполненную в виде гибкой мембраны, неподвижную управляющую пластину, неподвижный главный контакт и подвижный главный контакт, электрически не связанный с мембраной, отличающеес я тем, что, с целью повышения надежности срабатывания, улучшения ключевых свойств и упрощения технологии изготовления, на внутренней части мембраны, находящейся напротив неподвижного главного контакта,

расположен подвижный главный контакг, изолированный от мембраны слоем диэлектрика, например двуокиси кремния, и соединенный с выводом главной цепи гибким проводящим элементом, а изолирующая подложка имеет углубление, в котором размещен неподвижный главный контакт, причем величина углубления равна общей толщине изолирующего мембрану слоя диэлектрика и подвижного главного контакта.

-7///////////////////////////

I I

6 7

I/Л//- / у/ / / / . /

I I 6 7