Способ компенсации магнитного поля земли Советский патент 1975 года по МПК G01V3/00 

1

Изобретение относится к способам исследования поверхностных структур и может быть использовано в низковольтной электронографии, микроскопии, электронной спектрометрии.

Известны способы компенсации магнитного поля внутри вакуумной камеры, например, с помощью катушек Гельмгольца или магнитных экранов, которые располагают вне вакуумной камеры. При этом используют карты магнитного поля Земли, расчетным и экспериментальным путем подбирают параметры компенсирующих катушек, а мерой компенсации служит положение индикатора прибора (например, магнитометра).

Недостатки известных способов заключаются в использовании вспомогательного оборудования (магнитометров) и отсутствии контроля компенсации магнитного поля внутри камеры в процессе эксперимента.

Цель изобретения - обеспечение с высокой точностью контроля степени компенсации в любой момент времени, например, внутри вакуумного объема дифракционной камеры электронографа.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что на пути потока медленных электронов располагают люминесцентный экран на прозрачной подложке и, изменяя ток компенсирующих катушек и их положение в пространстве, совмещают изображение пучка электронов с центром светового пятна, образованного подсветкой от прямонакального катода или от другого источника, направляющего свет вдоль электронно-оптической оси пушки. Люминесцентное покрытие выбирают с возможно низкой энергией возбуждения и малым сопротивлением растеканию заряда с поверхности, например, ZnO : Zn. Это позволяет подводить к экрану те же потенциалы, что и к последнему аноду пушки, который, как правило, бывает заземлен и таким образом не искажает эквипотенциальности пространства дрейфа, а следовательно, и траектории пучка электронов.

Способ поясняется чертежом, на котором показана пушка медленных электронов 1, люминесцентный экран 2, поток электронов 3 и световой поток 4.

Пушка медленных электронов 1 формирует электронный поток 3. Электроны, попадая на люминесцентный экран 2, возбуждают люминофор, создавая светящееся пятно 5. Световой поток 4, например, от прямонакального катода, распространяющийся вдоль электронно-оптической оси, создает на люминесцентном экране круг 6 другого цвета, центр 7 которого совпадает с электронно-оптической осью. Регулируя ток компенсирующих катущек и изменяя их положение в пространстве,

добиваются совмещения электронного пятна 5 с центром 7 светового круга.

Предмет изобретения

Снособ компенсации магнитного ноля Земли с помощью катушек Гельмгольца, например, в электронографе медленных электронов, отличающийся тем, что, с целью новыщения точности компенсации магнитного поля Земли в процессе эксперимента, на пути электронного потока располагают люминесцентный экран, а вдоль электронно-оптической оси источника медленных электронов направляют световой поток, изменяют направление и величину компенсирующего магнитного поля до совмещения на люминесцентном экране пятна электронов с центром светового круга.