ВСЕСОЮЗНАЯ Советский патент 1973 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к способам электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью дифракции медленных электронов и может быть применено в растровой электронной микроскопии.

Известны способы электронно-структурного анализа поверхности твердых тел с помощью электронографа медленных электронов, включающего в себя дифракционную камеру, содержащую электронную пущку. Пушка формирует пучок медленных электронов, зондирующих поверхность исследуемого образца, который располагается в центре сферического экрана, покрытого с внутренней стороны флуоресцирующим составом. В результате взаимодействия зондирующих электронов с кристаллической структурой образца возникают дифрагированные электронные пучки, которые, пройдя через систему селектирующих сеток, создают на экране дифракционную картину. Рисунок этой картины (расположение рефлексов, их интенсивность и т. л.) зависит от структуры поверхности образца. После расшифровки дифракционной картины можно судить о строении кристаллической структуры исследуемой поверхности.

При исследовании поверхностей известным способом электронно-оптическая ось камеры расположена горизонтально. Это приводит к искривлению траектории пучка зондирующих

электронов из-за влияния магнитного поля Земли. Для компенсации магнитного поля Земли электронографы снабжают катушками Гельмгольца и отдельным источником для их питания.

Цель изобретения - увеньшение влияния магнитного поля Земли на зондирующий и дифрагированные пучки электронов более простыми средствами.

Поставленная цель достигается установкой дифракционной камеры таким образом, что ее электронно-оптическая ось располагается в плоскости магнитного меридиана под углом магнитного наклонения. При этом магнитное поле Земли оказывает фокусирующее действие на зондирующий пучок в дрейфовом пространстве, поскольку он движется вдоль магнитного поля Земли.

Изобретение позволяет отказаться от громоздких катушек Гельмгольца и источника их питания, что упрощает прибор.

Па чертеже изображен электронограф, дифракционная камера которого расположена предложенным способом.

Электронограф содержит электронную пушку I, экран 2, селектирующие сетки 3, дифракционную камеру 4, исследуемый образец 5, смотровое окно 6.

Электронная пушка /, расположенная с обратной стороны экрана 2, паходя.щаяся в