Устройство для получения многократных изображений объекта Советский патент 1975 года по МПК G03C9/08 

1

Изобретение относится к области оптического приборостроения.

Известны устройства для получения многократных изображений объекта, содержащие осветитель с конденсором, коллиматорным и проекционным объектами и диафрагмой, держатель объекта, коллиматорный объектив, оптический растр и светочувствительный слой.

Недостатком известного устройства является взаимное перемещение светочувствительного слоя и объекта.

Цель изобретения - устранение взаимных перемещений светочувствительного слоя и объекта, что, в свою очередь, является предпосылкой для повышения качества и производительности труда при производстве интегральных схем.

Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве при неподвижных объектах и светочувствительном слое между коллиматорным и проекционным объектами осветителя устаповлена призменная система Порро второго рода с возможностью перемещения совместно с проекционным объективом осветителя вдоль одной координатной оси объекта, причем одна из призм системы тесно связана с проекционным объективом осветителя и установлена с возможностью перемещения

относительно второй призмы системы вдоль другой координатной оси объекта.

На чертеже изображена аксонометрия принципиальной оптической системы предлагаемого устройства.

Устройство включает в себя источник 1 света, конденсор 2, круглую диафрагму 3, коллиматорпый объектив 4 осветителя, прямоугольные призмы 5 и 6 полного внутреннего отражения, представляющие систему Норро второго рода, проекционный объектив 7 осветителя, размножаемый объект 8, объектив 9 коллиматора, оптический растр 10 и светочувствительный слой 11.

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Изображение зоны разряда источника 1 света передается двухлинзовым конденсором

2 в плоскость круглой диафрагмы 3, перекрывая апертуру последней. Круглая диафрагма 3 находится в передней фокальной плоскости коллиматорного объектива 4 осветителя. .

Таким образом, гомоцентрический, световой поток, пройдя диафрагму 3, выходит из коллиматорпого объектива 4 параллельным пучком и, пройдя призменную систему 5 и 6 Порро второго рода и проекционный объектив 7 осветителя, формирует в плоскости