Рентгеновский способ измерения толщины покрытия Советский патент 1975 года по МПК G01B15/02 

1

Изобретение относится к контрольно-из- мерительной технике и может быть использовано при измерении толщины покрытий.

Известны способы измерения толщины покрытий за счет регистрации ослабления

одной спектральной линии характеристичес- кого рентгеновского излучения.

Однако известные способы требуют высокой стабилизации ускоряющего электроны напряжения, необходимости проведения не- скольких измерений при определении толщины покрытия в одной точке.

Цель изобретения - повысить точность измерения.

Это достигается тем, что дополнительно измеряют величину интенсивности другой спектральной линии характеристического излучения элемента и по отношению измеренных величин судят о толшиие покрытия. I Этот способ позволяет получить больщую точность определения толщины тонких пок4 рытий, пригоден для любых сочетаний материалов покрытия и подложки, дает возможность производить непрерывное измерение толщины покрытий.

На чертеже изображена схема устройства, осуществляющего предлагаемый способ.

Устройство содержит источник 1 электронов, возбуждающих характеристическое излучение подложки, покрытие 2, подложку 3 детектор 4 рентгеновского излучения.

Способ осуществляется следующим образом.

Возбуждение характеристического излучения подложки осуществляется рентгеновским излучением или пучком электронов. Вторичное излучение, прощедщее покрытие, попадает на детектор рентгеновского излучеиия, который регистрирует отношение иитенсивностей двух спектральных линийхарактеристического излучения подложки, возбуждаемых одновременно и в одном и том же месте подложки.

Отнощение интенсивностей двух спеклрал ных линий характеристического излучения подложки пропорционально толщине покрытия. Выбранные спектральные линии могут принадлежать одному или различР1ым элементам, входящим в состав подложки.

Предмет изобретения

Рент1веновский способ измерения толишны покрытий на подложке путем измерения величины интенсивности одной спектральной линии характеристического излучения эле- ,

мента, отличающийс я тем, что, с целью повышения точности измеренияу дополнительно измеряют величину интенсивности другой спектральной линии характеристического излучения элемента и по отношению измеренных величин судят о толщине покрытия.