Устройство для измерения параметров тонких магнитных пленок Советский патент 1975 года по МПК G01R33/12 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК датчика без пленки настраивается ни рез нансную частоту, большую, чем частота генератора. После установки пленки j 3Oнансная частота датчика 5 смещается в сторону частоты генератора. В цепи катушки датчика протекает высокочастотный тсж создающий слабое пробное поле. При перемагничивании пленки внешним низкочастотным полем, приложенным перпе дикул$фно к высокочастотному пробнс 4у полю, напряжение высокой частоты в измерительной катушке датчика будет изменяться щ опс ционально дифференциальной проницаемости образца магнитной пленки. С датчика 5 напряжение высокой частоты поступает в схему формирователя опорного напряжения, состо5пцую из .-последовательно соеди ненных селективного усилителя 1, фазовращателя 2 и собственно формирователя опор ного напряжения 3, и затем в симметричный коммутационный фазовый детектор 7. По второму каналу с датчика 5 напряжение высокой частоты поступает на линейный усилитель 6 и затем в симметричный коммутационный фазовый детектор 7. Фазовый детектор по оравнению с ампйитудным детектсфом имеет большую помехоустойчивость к внешним электрическим и магни-рным полям. Преобразсяанный сигнал с вы хода фазового детектора подается на фильт ;низк частоты 8. Фильтр низкой частоты задерживает паразитный спектр частот, Iпоявляющийся в результате демодуляции. С выхода фильтра низкой частоты нацр51жевне аоступвет ва усилитель постоянного то ка 9. Нлшряжекие низкой частоты, несущее информяшпо о дифференциальной проницаемости , с выхода усилителя постоян- него том 9 пвступает на вход У осциллографа 13. В зависимости от положения я(лвкки относительно намагничивающего низкочжстотного поля осциллограмма будет отображать завмсимость дифференциальнбй магшп ой првШ1наемости от напряженное стк поля в направлении оси легкого или трудного намагничивания. С выхода фильтра tatsKoA частоты 8 напряжение сигнала подается также ва пиковый преобразсжа тель 11. Выходвое напряжение преобразователя измеряется мостовой балансной схемой/ со стрелочньм индикатором 12 в ее диагсжаля, прокалиброванным в величинах дифференциальной магнитной прошшаемо-; стн. Фазовращателем 2 схемы опорного напряжения ликвидируетЬя фазовый сдвиг между опорным напряженнем, поступающим на фазовый детектор, и высокочастотным вяфяжением сигнала, поступающим с дат чнка 5 на фазовый детектор 7. С фазовращателя ,2 нецфяиение частоты поступает в формирователь опорного напряжения 3, где формируется напряжение требуемой амплитуды в меандра из синусоидального напряжения. С выхода формирователя опорнса о напряжения 3 напряжение поступает на фазовый детектор 7. Для создания нешряжения развертки поторизсшталй применяется низкочастотный трансформатор 14 и фазокс ектирующая КС-цепочка. Напряжение с фазоксрректирующей цепочки, пропорциональное току перемагничивания подается на вход X осциллографа 13. Калибратор 15 напряженности перемагничивающего поля вырабатывает импульсы, которые поступают на вход У осциллографа 13. Калибратор 16 величины дифференциальной проницаемости вырабатьтает калибрационные метки в виде уровней, которые подаются затем на вход У осциллографа. При измере- НИИ параметров магнитной пленки, имеющей очень малый объем применяется трехкоординатное устройство 17 для компенсации магнитного поля земли. Предмет изобретения Устройство для измерения параметров тонких магнитных пленок, содержащее последовательно соединеннь4е генератор высокой частоты, датчик измерительного поля с помещенным в катушке датчика исследуемым образцом пленки и линейный усили тель, катущки Гельмгольца, низкочастотный трансформак, а также калибраторы напряженности магнитного поля и дифференциальной магнитной проницаемости, своими выходами подключенные к входу осциллографа, ; связанному через усилитель постоянного тока.с одним выходом фильтра низкой частоты, другой выход которого через пиковый преобразователь соединен со стредрчным прибором, о т л и ч а ю е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено последовательно соединенными селективным усилителем, фазовращателем, формирователем опорного напр$1жения и симметричным коммутационным фазовым детектором, другой .котофого подключен к выходу линейного усилителя, а выход - к входу фильтра низкой частоты, причем вход селективного усилителя соединен с выходом датчика измерительного поля.