Устройство контроля контактирования зондовых установок Советский патент 1975 года по МПК G01R31/303 

1

Изобретение относится к вычислительной технике и может использоваться в автоматизированных устройствах контроля интегральных схем.

Известны устройства контроля контактирования ЗОНДОВЫХ установок, содержаи ие головки с зондами, измерительную схему, исследуемую интегральную схему.

Цель изобретения - повышение надежности контроля.

Это достигается тем, что в устройство введены электромагнитные реле, логическая схема «НЕ - ИЛИ, триггер, источник напряжения и резисторы, причем подвижные контакты каждого электромагнитного реле соединены с зондами головок, нормально замкнутые контакты- с входами измерительной схемы, нормально разомкнутые контакты - с входами логической схемы «ИЕ - ИЛИ и через резисторы с источником напряжения, а выход логической схемы «НЕ - ИЛИ соединен с входом триггера.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства контроля зондовых установок.

Интегральная схема 1 имеет контактные ялощадки, которые с помон ью зондов 2-6 подсоединяются к измерительной схеме. Зонд 2 соединяет общую шину источников питания с земляной Н1ИНОЙ схемы 1, а с помощью зондов 3-6 и через нормально замкнутые контакты реле 7-10 выводы схемы 1 соединяются с нзмерительной схемой 11.

После того как интегральиая схема подведена под зонды и координатный стол поднят для обеспечения контактов зондов 2-6 с контактнымн площадками схемы 1, реле 7-10 срабатывают, отключая зонды 3-6 от измерительной схемы 11, подсоединения зонды 3-

6 через сопротивления 12-15 к источнику питаиия 16, обеспечивающему прямое смещение диодов, связанных с контактными площадками. При этом через из сопротивлеиий 12-15 течет ток, и на входы логической схемы «НЕ - ИЛИ 17 иоступают уровни низкого наиряжения, а на выходе схемы «НЕ - ИЛИ 17 появляется уровень высокого нанряжения, который перебрасывает триггер 18. Если хотя бы один зонд (3, 4, 5 или 6) не

имеет электрического контакта с выводом интегральной схемы 1, по соответствующему сопротивлению ток не протекает, и па один из входов схемы «ИЕ - ИЛИ поступает уровень высокого напряжения.

С выхода схемы 17 иа вход триггера 18 поступает уровень низкого напряжения, н триггер 18 остается в исходном состоянии, что свидетельствует об отсутствии электрического контакта соответствующего зонда. Номер зонда, не имеющего электрического контакта с

интегральной схемой, определяется по отсутствию тока через соответствующее сопротивленпе.

Предмет изобретения

Устройство контроля контактирования зондовых установок, содержащее головки с зондами, измерительную схему, исследуемую интегральную схему, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контроля, в него введены электромагнитные реле, логическая схема «НЕ -: ИЛИ, триггер, источник напряжения и резисторы, причем подвижные контакты каждого электромагнитного реле соединены с зондами головок, нормально замкнутые контакты - с входами измерительной схемы, нормально разомкнутые контакты - с входами логической схемы «НЕ - ИЛИ и через резисторы с источником напряжения, а выход логической схемы «НЕ - ИЛИ соединен с входом триггера.