Устройство контроля контактирования интегральных схем Советский патент 1983 года по МПК G01R31/02 

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано в автоматизированных устройствах для контроля интегральных схем (ИС). Известно устройство контроля контактирования зондов с контактными площадками ИС, содержащее измерительный блок, электромагнитное ре ле, логический элемент НЕ-ИЛИ, триг гер, источник напряжения и резисторы С 11Данное устройство имеет ограниченную область применения и невысокую достоверность определенияналичия контакта с ИС. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство контроля контактирования ИС, содержащее источник напряжения соединенный через первый с контактной площадкой ИС, другие пло щадки которой через соответствующие зоны соединены с входами первой группы блока измерения, выход которого соединен с первыми входами дву элементов И, выходы которых через с ответствующие триггеры соединены соответственно с первым и. вторым входами блока управления, первый вы ход которого соединен с вторым входом первого элемента И и первым зон дом, а второй выход -.с вторым выходом элемента И, входом блока изме рения и источником напряжения С2. Недостаток известного устройства заключается в низкой достовернос ти определения наличия контакта зо дов с контактными площадками ИС. Цель изобретения - повышение дос товерности контроля. . Указанная цель достигается тем, что в устройство, содержащее блок зондов с п+1 зондами, п-1 зондов которого соединяют соответственно контактные площадки интегральной схемы с входами-блока измерения, п-вход которого соединен с выходом блока управления, второй выход кот рого соединен с входом источника напряжения, выход которого через п зонд блока зондов соединен с соответствующей контактной площадкой интегральной схемы, элемент И, вве дены преобразователь ток-напряжени блок опорных напряжений, блок элем тов сравнения и индикатор, причем второй выход источника напряжения соединен с входом преобразователя ток-напряжение, первый выход котор го через п+1 зонд блока зондов сое нен с соответствующей контактной площадкой интегральной схемы, а второй ыход с первым входом бло .элементов сравнения, первая группа П-1-ВХОДОВ которого соединена соот ветственно с п-1 входами блока измерения, вторая группа 2п-входов с динена соответственно с 2п-выходами блока опорных напряжений, а 2п-выходов соединены соответственно с 2пвходами элемента И, выход которого соединен с входом индикатора и п+1входом блока измерения. На чертеже приведена структурная схема предлагаемого устройства. Устройство содержит блок 1 зондов с зондами 1,1-1 п+1, блок 2 измерения, блок. 3 управления, источник 4 напряжения, элемент И 5, преобразователь б ток-напряжение, блок 7 опорных напряжений, блок8 элементов сравнения, индикатор 9 и интегральную схему -10 (ИС). Устройство работает -следующим образом. После опускания зондов блока 1 зондов на проверяемую ИС 10 под воздействием управляющего сигнала, поступающего с блока 3 управления на источник 4 напряжения, подается напряжение на ИС 10 непосредствен- но через 1 п зонд и через преобразователь б ток-напряжение и 1,п+1 зонд. Под воздействием напряжения, приложенного через п и п+1 зонды к шинам питания, ИС 10, на первых п-1 контактных площадках последней и на втором выходе преобразователя 6, подключенного к первому входу блока 8, устанавливаются напряжения, величины которых определяются электрической схемой контролируемой ИС 10, т.е. ее внутренней структурой. Блок элементов сравнения содержит п пар элементов сравнения, на каждый из которых подается через вторую группу входов соответствующее опорное напряжение с блока 7 оп.орных напряжений, которое соответствует нижнему и верхнему допускам на контролируемое напряжение, которое подается на блок элементов сравнения через первый вход и первую группу п-1 входов. Если все зонды совпали с соответствующими контактными площадками, то на всех выходах блока8 элементов сравнения и на выходе элемента И 5 появится высокий потенциал, разрешающий работу блока 2 измерений. Если хотя бы один зонд не попал на соответствующую ему контактную площадку, то на одном или нескольких выходах блока 8 элементов сравнения, а значит и на выходе элемента И 5 появится низкий потенциал, который запрещает работу блока 2 измерений и включает индикатор 9, сигнализирующий о неправильном контактирова,ни-и. Оператор при этом должен сориентировать пластину с проверяемыми ИС 10, обеспечив точное попадание зондов блока 1 на контактные площад к« ИС 10 и, после устранения причины остановки устройства вновь его запустить.

Ввиду высокой стоимости ИС с повышенной интеграцией потеря времени при остановке, измерительной системы по причине дефекта ИС 10, который может быть воспринят устройством контроля контактирования как отсутствие контакта, окупается за счет повышения процента выхода годных ИС. Повышение процента выхода годных ИС обусловлено тем, что в предлагаемом устройстве понижается число ИС, бра,куеМых измерительной системой за счет отсутствия электрического контакта зондов блока 1 с контактными площадками ИС 10,

УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЬК СХЕМ, содержгоцее блок зондов с п+1 зондами, п-1 зондов которого соединяют соответственно контактные площадки ин- . тегральной схемы с входами блока измерения п-вход которого соединен с выходом блока управления, второй выход которого соединен с входом источника напряжения, выход которого через п зонд блока зондов соединен с соответствующей контактной площадкой интегральной схемы, элемент И, отличающееся тем, что, с целью повышения достоверности контроля, в него введены преобразователь ток-напряжение, блок опорных напряжений, блок элементов сравнения и индикатор, причем второй выход источника напряжения соединен с входом преобразователя ток-напряжение, первый выход которого через п+1 зонд блока зондов соединен с соответствующей контактной площадкой интегральной схемы, а второй выход с первым входом блока элементов сравнения, ,первая группа n-1-входов которого соединена соответственно с n-1-входами блока измерения, вто- . .рая группа 2п-входов соединена соот(Л ветственно с 2п-выходами блока опорных напряжений, а 2п-выходов соединены соответственно с 2п-входами элемента И, выход которого соединен с входом индикатора и п+1-входом блока измерения. 4 сл -v| (X)