(54) АДСОРБЦИОННО-РАЗРЯДНЫЙ НАСОС
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Криостат для охлаждения детекторов | 1978 |
|
SU763651A1 |
| КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС | 1998 |
|
RU2140568C1 |
| Магниторазрядный вакуумный насос | 1978 |
|
SU687493A1 |
| Устройство для плазменной дезактивации элементов конструкции ядерного реактора | 2021 |
|
RU2771172C1 |
| Ионно-геттерный насос | 1983 |
|
SU1102408A1 |
| ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЙ СВЧ-ПРИБОР | 2005 |
|
RU2290713C1 |
| Способ нанесения покрытий путем плазменного напыления и устройство для его осуществления | 2015 |
|
RU2607398C2 |
| Магниторазрядный насос | 1985 |
|
SU1351465A1 |
| Криогенный конденсационный насос | 1983 |
|
SU1139886A2 |
| Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1980 |
|
SU943920A1 |
Изобретение относится к безмасляным средствам откачки, в частности к адсорбционноразрядным насосам.
Известно откачное устройство, содержащее охлаждаемый адсорбционный элемент и разрядные ячейки, размещенные в общем корпусе.
Недостатком известного устройства является невысокая скорость поглощения газов в интервале давлений 5-10 -1-10 торр.
Цель изобретения - интенсификация процесса откачки. Поставленная цель достигается в результате того, что адсорбционный элемент выполнен из токопроводящего материала Б виде пластины С отверстиями, окруженными тепловым экраном, находящимся под отрицательным иотенцналом но отношению к корпусу насоса, соединенному с токопроводящим адсорбционным элементом, и образующими разрядные ячейки.
На чертеже показан предложенный адсорбционно-разряд 1ый насос.
Насос содержит корпус 1 с .патрубком 2 для подсоединения к откачиваемой системе; магнитную систему 3, адсорбционнь1й элемент 4 из токопроводящего материала, выполненный с отверстиями 5 и соединенный с корпусом насссп; систему охлаждения 6. Отперетия в адсорбциоином элементе окружены тепловым экраном 7, находя1димся под отрицптельным
потенциалом цо отношению к корпусу насоса, и образуют разрядные ячейки 8.
Перед работой насос обезгаживается ирогревом до 350-450С, после чего в систему о.хлаждения 6 заливается жидкий азот. В результате охлаждения адсорбента осуществляется сорбция газов. Одновременно с процессом сорбции газов возбуждается газовый разряд в ячейках 8 при подаче высокого отрицательного напряжения на тепловой экран 7.
Возбуждение разряда в ячейках 8, расположенных непосредственно в адсорбционном элe ieнтe 4, интенсифицирует процесс сорбции газов в области давлений 10 торр.
Предложенный адсорбционно-разрядный насос повышает скорость откачки газов, увеличивает время непрерывной работы «асоса и ускоряет выход насоса на рабочий режим.
Предмет изобретения
Адсорбционпо-разряднь1Й насос, еодержаший корпус, соедииенный с откачиваемой системой, и размещенные в нем охлаждаемый адсорбционный элемент и разрядные ячейки, о т л и ч а ю щ и и с ;i тем, что, с целью питенснфикаплп процесса откачки газов, адсорбпионпый элемент выполнен из токопповодящего материала в виде пластины с отверстиями, окруженными тепловым экраном, находящимся тюд отрицательны-м потенциалом по отношению к корпусу насоса, соединенному с токонроводящ-им адсорбционным элементом, и образующими разрядные ячейки.
