Устройство для вакуумного напыления слоев Советский патент 1975 года по МПК C23C15/00 B01J17/30 

1

Изобретение относится к вакуумному напылительному оборудованию, которое применяется в установках напыления материалов, например полупроводниковых, металлических или диэлектрических слоев.

Известна установка для вакуумного напыления материалов, имеющая камеру напыления, которая содержит карусель с помещаемыми на ней подложками, вращаемую над испарителями. Иепременным условием качественного напыления в вакууме является экранировка испарителей в .первой стадии напыления, чтобы окислы и загрязнения испаряемого материала не летели на подложки.

В известном устройстве механизм экранировки испарителей выполнен в виде заслонки, поворачиваемой рычагом относительно оси, проходящей через вакуумное уплотнение в камере, и управляемой извне электромагнитным приводом.

Однако для такого механизма необходимы специальный высоковакуумный ввод и система электромагнитного привода с блоком питания. Кроме того, узел перемещения заслонки (рычаги, фиксаторы, направляющие, зубчатые передачи) сложеи и громоздок.

Цель изобретения - упрощение ко-нструкпии.

Достигается это тем, что на валу, снабженном реверсивным приводом, по скользящей

посадке установлена втулка с укрепленной на ней заслонкой, для фиксации которой камера снабжена упорами.

Иа чертеже схематически изображено предложенное устройство.

Оно содержит камеру 1 напыления, карусель 2 с подложками, заслонку 3, реверсивный привод 4 карусели, втулку 5, установленную по скользящей посадке на валу 6 карусели с подложками, испарители 7 и 8 и упоры 9.

Устройство работает следующим образом.

Иеред началом работы заслонку 3 устанавливают на позиции испарителя 7, работающего первым. Иосле герметизации и вакуумирования камеры напыления включают питание испарителя 7 и, выдержав требуемое время для испарения окислов и загрязнений на заслонку 3, включают привод 4 вращения карусели с подложками, которая через вал 6 поворачивает заслонку до упора 9, открывая работающий испаритель. Заслонка фиксируется упором над вторым испарителем 8.

Ири работе второго испарителя для перевода заслонки в первоначальное положение необходимо только дать реверсивное вращение карусели с подложками, включив привод 4 на реверс.

Устройство значительно проще в конструктивном оформлении по сравнению с известпым, так как в нем исключена необходимость

в специальном высоковакуумном вводе и упрощена система привода и узла .перемещения заслонки.

Предмет изобретения

Устройство для вакуумного напыления слоев, включающее камеру напыления, размещенные внутри «ее карусель с подложками, заслонку для экранировки испарителей и привод, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, на валу карусели установлена по скользящей посадке втулка, заслонка укреплена на втулке, камера снабжена упорами для фиксации заслонки, а привод выполнен реверсивным.

)