Способ измерения температуры поверхности подложки в процессе вакуумного напыления тонких пленок Советский патент 1975 года по МПК G01K17/06 C23C13/00 

3 Гпз по приведенной выше формуле и, определив соответствующий упомянутым плотностям теплоносителя дополнительный нагрев ДГ, вычисляют температуру поверхностного слоя подложки. Предмет изобретения Способ измерения температуры поверхноети подложки в процессе вакуумного напыле- 10 ния тонких пленок, основанный на нериоди4ческом нанесении на подложку парообразного теплоносителя, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, один конец подложки нагревают до температуры испарения напыляемого вещества, а другой ее конец - до температуры в два раза меньшей, затем производят три последовательных напыления с заданной плотностью нарообразного теплового носителя с определением после каждого напыления положения границы пленки и чистой поверхности подложки.