Устройство для регулирования давления в вакумной камере Советский патент 1975 года по МПК G05D16/20 

1

Изобретение относится к области автоматики, а более конкретно - к устройствам регулирования давления в вакуумных камерах.

Известны устройства для регулирования давления в вакуумных камерах, содержащие разрядную камеру с установленными в ней катодом и анодом, соединенными с источником напряжения, и регулирующий вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и магистралью подвода газа.

Однако такие устройства не обеспечивают высокой точности регулирования давления.

Цель изобретения - повысить точность регулирования давления.

Это достигается тем, что предлагаемое устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным механизмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой и регулирующим вентилем.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема устройства.

Устройство содержит разрядную камеру 1, установленную между вакуумной камерой 2 и регулирующим вентилем 3. В разрядной камере имеются электроды: анод 4 и катод 5, соединенные с источником напряжения. Между анодом и катодом расположен плавающий электрод 6, соединенный с блоком сравнения 7. Блок сравнения соединен с источником опорного напряжения 8 и исполнительным механизмом 9 регулирующего вентиля. Для расширения диапазона регулирования давления в разрядной ка.мере установлен вспомогательный электрод 10, соединенный с источником переменного напряжения.

Устройство работает следующим образом. В вакуумной камере 2 создают давление порядка - 8-10 мм рт. ст. В разрядной камере 1 давление автоматически устанавливается близким к давлению в вакуумной камере. Между анодом 4 и катодом 5 прикладывают потенциал 4000 В, на вспомогательный электрод 10 подают 200 В переменного напряжения. Между катодом и анодом зажигается

тлеющий разряд, в котором существуют пространственные области с различным падением потенциала. При изменении давления в вакуумной камере 2 изменяется давление в разрядной ка.мере 1. При этом пространственные

области разряда изменяют свое расположение относительно плавающего электрода 6, потенциал которого изменяется в зависимости от изменения давления в камере. Потенциал плавающего электрода подается на блок сравнения 7, куда от источника опорного напряжения 8 подается потенциал, соответствующий заданной величине давления в камере, полученный экспериментально. Разница потенциалов плавающего электрода и опорного напряжения поступает на исполнительный механизм 9 регулирующего вентиля.

На фиг. 2 приведена кривая изменения потенциала плавающего электрода в функции от изменения давления в вакуумной камере. По оси абсцисс отложено давление в вакуумной камере в мм рт. ст., а по оси ордипат отложен потенциал плавающего электрода, в вольтах.

Предмет изобретения

Устройство для регзлирования давления в вакуумной камере, содержащее разрядную камеру с катодом и анодом, соединенными с источником опорного напряжения, и регулирующий вентиль с исполнительным механизмом, соединенный с разрядной камерой и

магистралью подвода газа, отличающеес я тем, что, с целью повыщения точности регулирования, устройство снабжено блоком сравнения, который соединен с источником опорного напряжения и исполнительным механизмом регулирующего вентиля, а в разрядной камере между анодом и катодом установлен плавающий электрод, соединенный с блоком сравнения, причем разрядная камера установлена между вакуумной камерой и регулирующим вентилем.

)ЧФ{}- И

1 it

jk -200В