11зоиреген11с относится к стр{)иствам для анализа распределения заряженных частиц ио энергиям и может быть использоваИО при исследовании энергетической структуры электроннь х иотоков в электровак мн; х нриборах, при С()зда;1ии моиохроматоров, при рассортировке заряже)1нв:х частиц, обладающих ншроким снектро : Э1;ерги1.
Известно ис1:о, одиночно симме;ричной электростатической ли;1зы в качестве анализатора энергии электро1и)в.
(ллцест: еннь м недостатком лннзь: является худи1ение фсжхсирхюнитх свойст:;. связа.;;иое с исио.льзованием ненараксиалыи кх траекторий. Это п)иводит к снижению раз 1ешаюи1ей сиособности ирибора и 1аклад1 вает жесткие условия па аиертуру исследуемого иучка и 1иирипу входной и вы.ходно И1ели аиа;п1затора. Это обстоятельство суп ественио еиижаст еветоси.ту нрибора и )аничивает нозможиоеть ирибора при изучении иотс)ков заряжеиых частиц с иебо.плио инте-нсивН ост в К).
Целью изобретения я вляетея увеличение свет()си,1Ы нрsulopa.
Эта цель достигается благодаря . чю средства ()вк11 BijiHociiiCiii): к иде KopoiKoii магнитно) линзы с к(),1()1 оЛ1 обложеннои с;1ммет}1ично о:носителв ;о э.тектрос а : ической ,тинзь:.
Па че|Ттеже изображен Э ;ергоаналлзатор.
Эисргоана.тизатор состоит 1з электр 1статичес1мч1 оди1ючн(М1 ли:1зь, содержаще электРОДЬ 1. -. 3. ;: 4 lTI:{)ii .. lib НОЛ
катун К 1 4 е эк 1аном 5. входи1 5 х ди.афрагм 1). 7 и вь:х)Д1:ой диафрагмь: 8. в которв х нрорезан; : . ьцевв е :цели 9 и xia.iBie ieiiTpa. oTBepCTiJH 10, кол.1С тороп 11, 12. Все э.тектроды жестко связаны и кренляются ;) K(i;ia ioBOM дне 13. . линза ус; анавливастся на сгеклянном балло1 е 14.
На чертеже показан 15 заряженных части 1 1 траектории (а, б, в) частиц с различной энергией.
BiaiiMHoe расиоложение .тинз таково, что ОС симметрии ноля электростатической лиизь; до., совнадать с осями симметри) ио. бр(И ирован1;ой магншной .тиизы. Электродв 1, 3 . входные 6 и 7 и вв:ходиая 8 1ие. диафрагм ; В1):полия отся из )итно о матерна.л:;. Элект 1од 2 линзв немагнитный и NieeT ;отеи 1иал катода, остальные э.тектро;1Ь имеют ; Скоряю1Ц 1Й кагод цотенциа.та. li кол.тектор 12 электроны б. те.тесконический ход и фокусирон;к ио ; аирав.;е1И Ю в илоекости диафра1 В: 8. Чтобь: вввести на телеско1 Ическ |(1 rpacKTOPino бь;стрые иди медленнь;е
частицы., надо соотзетственно уменьшить или величить потенциал среднего электрода 2 . Для точного о:нределення спектра энергии частиц необходима предварительная град ировка спект К)метра. Г|1адунрс)вку спектрометра можно ос Н1ествигь. если H;I катод 1К1и на анод иет() заряжеиньнх частид носледова гслыК) H VUITIJ екачкамн, нанр 1мер, через 1 в, ;)яд нанря/кениГ от батареи HocTOsiJiHOio тока. При атом изменяя по.енниад средне ;; э.чектрода 2 так, чюбы частнцы нроходилн но гелесконическо граекторин и но:надалн па коллектор 12, получают :-раду1ь ровочную зависимость потенднала ерсдне ч) э;1ектрода от эпер1ч;и BJieraionuiii в снектромет|) чаетинТраекторнь;й анализ движения заряженн1)1х частиц в гакой сисгеме с комбинированив:м элекТ|:нчеекнл1 н магпитньгм но.тем :н)казь:вает, что диснерснс)11нь:е свойства эдектрюстати4ecKoi i ,1нпзы не ух Д1наются, а сферичес 1о гнЗеррандно можно уменьниггь за ечег исиольчоьання о,1С)колос)бразного ма:Н1:тн Го ноля. аз1)сн1а10Н1ая снособнос-1Ь но энер1-нн м(;жет лостигатль .ЮОО даже нрн1 еравннтельпо больiHiix у;лах и)Л pacTBOj)a нучка .02- 0,03 ратиан и шнрнне нход|1()й и .;ij)HeMiH.)i н;е.П1 S:.,-:5:;--0,0 млн
Прнмененне Iipeдлa:ae UJiч снектроме гра нозво;и:ег челнч 1гь светосилу эне|)гоанализа101К1 на основе э;1ек1|)иетатической линзьн Вь;с()ка5; ; аз;импа;он1ая сн; собность снект1)ометра даег возможность нссле.товать энергетичес чо стр Ктуру элекгоонньнх НОТОК01. сформн1)(1ва11нв;х нуннкамн - J/ICKI ропио-лу чевых приборов с недью ул чш1ния .метров э,1ект;)с;н:1о-он ических систе.н
Предлагаемое уетройетво может быть нснользовано в качест ге .мато1.)а заря/не1Н:н;х часмш. 1 снол1)31)вание ннедлагасмого с1)ойства без вход:1ь:х н Доходной днафсрав1; Г1е.тьно тонкснч) э,тектро1;ов, оолада 01ннх HIHJJOKHM снекгроЛ энерги, н(зволяет /юкальнс) раесортирова Т) JIOHB: разлнчиь:х ьнер1Ч1Й. Это открывает возможliocTb эффективной pej .неранни отработан.НлХ электронов и технического к. н. д. С.ВЧ npii6ojn)jj с .М;1О1осекцноннь:.м Ko.iле; то;зом.
Энерг()анализат(;р, вынолнен :ь:й на .)статнчсекой .тнп ы, смабже 1, с чмCTiunni фокусн;)овкн за 35: 1чепнь:х часгнн, о т. н ч а 10 HI н и с я 1-е.:, чю, с HC.TBKJ :;е.;иЧ1-чия ciiciocHHiji, ередства )0)гки ;)ь:нил;11-нн1 I, AiaiHHiHoii линзь, iHiocKocib cjiMMei) JvoTopoii coBMCHieiiH с п.ккнчоствю неп;|ia:n noi4) эле1 грода э;1е;-:трос1а; нческо : лнчзь:. а К|)а11иие электрод;-: эго лннз 1;ь:нол11,-чы нз :а1Ч1нтно|ч) маичднма.
r7:;:- ;f::;a-ll™.l. ii-IiGz:: - тт-.., .,-
