(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Магнитоупругий датчик | 1974 |
|
SU502246A1 |
| Устройство для измерения температуры | 1977 |
|
SU678340A1 |
| Преобразователь амплитуды переменного тока в импульсный сигнал | 1981 |
|
SU976392A1 |
| Магнитоупругий преобразователь для измерений малых перемещений | 1976 |
|
SU596821A1 |
| Датчик давления | 1976 |
|
SU590621A1 |
| Устройство для измерения диэлектрических параметров материалов | 1982 |
|
SU1087862A1 |
| Магнитоупругий преобразователь | 1973 |
|
SU492728A1 |
| Магнитоупругий преобразователь усилий и деформаций в число-импульсный сигнал | 1980 |
|
SU922500A1 |
| МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК | 2005 |
|
RU2279737C1 |
| Датчик давления | 1981 |
|
SU987425A2 |
1
Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления.
Известны датчики давления, содержащие токопроводящую мембрану, магнитоупругий преобразователь на ферромагнитной пленке и источник неременного тока.
Известные датчики давления не обеспечивают достаточной информативности и точности дискретного вы.ходного сигнала.
С целью повышения информативности и точности дискретного выходного сигнала в предложенном датчике давления источник переменного тока подключен к центру мембраны, покрытой ферромагнитным слоем и изоляционной пленкой, в которой по спирали выполнены отверстия, снабженные точечными контактами зондов, подключеппых через один к двумя выходным тонкопленочным электродам.
На чертеже показан предложенный датчик давления.
Основанием датчика является плоская мембрана 1, выполненная из бериллиевой бронзы. На мембрану напылена пермалоевая пленка 2, на которую, в свою очередь, напылена изоляционная пленка 3, из моноокиси кремния, со спирально расположенными отверстиями под точечные контакты 4 зондов, служащих для съема выходного сигнала. Тонконленочиые алюминиевые проводники 5 зондов, напыленные поверх изоляционной пленки 3, обеспечивают раздельное электрическое соединение четных и нечетных точечных контактов 4. Переменный ток, перемагничивающий нермаллоевую пленку 2, подводится к центру мембраны 1 с номощью проводника 6.
Датчик давления работает следующим образом. Переменный, например синусоидальный ток, подводится к центру плоской мембраны 1 с помощью проводника 6 и растекается к краям мембраны. При этом по мере нарастания тока иамагничивания концентрически увеличивается область перемагничиванпя пермаллоевой пленки 2 с прямоугольной петлей гистерезиса, последовательно захватывающая места нрисоединения точечных контактов 4. Ток создает постоянную по амплитуде величину нанряженности магнитного ноля, достаточную для перемагничивания всей пермаллоевой пленки 2. Соответственно этому между алюмнниевыми проводниками 5 съемных зондов и пермаллоевой пленкой 2 с прямоугольной петлей гистерезиса, последовательно, по мере захватывания неремагпиченной концентрической -областью мест нрисоединения точечных контактов 4, наводятся импульсы напряжения, обусловленные скачкообразным изменением магнитной индукции на границе зоны перемагничивания, полярность которых зависит от направления перемагничивания. Та
