Автоматический измеритель неоднородностей поверхности объекта Советский патент 1975 года по МПК G01B11/30 

жит конденсор 10 и 11, периодическую структуру 12, представляющую собой совокупность двух дифракционных решеток, расположенных под некоторым углом и вращающихся за счет специального механического блока 13, фотоэлектрический умножитель (ФЭУ) 14, который питается от стабилизированного источника 15 высоковольтного напряжения. Выход ФЭУ соединен с устройством 16, предназначенным для оценки размеров неоднородностей. Диаметр отверстия диафрагмы 5 равен диаметру отверстия диафрагмы 8.

Устройство работает следующим образом.

Объект 17 освещается через конденсор 3 источником 1. Отражаясь от поверхности объекта, свет попадает в объектив, создающий увеличенное изображение поверхности объекта в плоскости вибрирующей диафрагмы 5. Диафрагма 8 определяет размер поля зрения и диаметр ее отверстия равен диаметру отверстия диафрагмы 5. Увеличенное изображение складывается из темных пятен от неоднородностей и светлых частей от гладкой новерхности. Анализирующее устройство производит анализ изображения. Применение вибрирующей диафрагмы позволяет выделить на выходе ФЭУ переменную составляющую сигнала, огибающая которой является спектром неоднородпостей. Введение вибрирующей диафрагмы позволяет излчерять неоднородности поверхности объекта при отсутствии механической связи прибора с объектом измерения. Применение диафрагмы 8 дает возможность изменять поле зрения прибора в зависимости от измеряемых неоднородностей. Амплитуда максимумов сигнала пропорциональна общей площади пятен, а расстояние между минимумами-горизонтальному размеру неоднородностей. Этот сигнал подается на устройство, которое на выходе дает значение размеров неоднородностей.

Предмет изобретения

Автоматический измеритель неоднородностей поверхности объекта, содержащий осветитель объектов, диафрагму поля зрения, анализирующее устройство и объектив, проецирующий изображение поверхности объекта на анализирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью облегчения процесса измерения и измерения в труднодоступных местах, он снабжен вибрирующей диафрагмой с диаметром, равным диаметру диафрагмы ноля зрения, установленной между объективом и диафрагмой поля зрения.

m g

/7

--

э

,/..

Л