настроенных на различные частоты фильтров, отмечает точки уравновешивания спектральных составляющих контролируемого и образцового сигналов появлением или исчезновением откликов в фильтрах дискриминатора, а блок 4 по комбинации этих откликов определяет характеристики нестабильности измеряемого сигнала, нап мер амплитуды спектральных составляющи нестабильности, их распределение по оси частот, и принимает решение о качестве контролируемого параметра. Данный способ позволяет фиксировать сколь угодно кратковременные изменения параметра, а точность измерения зависит лишь от точности определения точек уравновешивания на оси частот. Предмет изобретения Способ контроля нестабильности параметров полупроводниковых приборов путем сравнения контролируемого и образцового сигналов, по отношению которых судят об измеряемом параметре, отл ичаюшийс я тем, что, с целью повышения точности измерений, огибаюшую спектра контролируемого сигнала развертывают циклической огибающей спектра образцового сигнала и определяют характеристики нестабильности по расположению точек уравновешивания спектральных составляющих контролируемого и образцового сигналов.
ФигЛ
Фиг. 2
