Способ измерения угловых перемещений плоского обьекта Советский патент 1976 года по МПК G01B11/26 G01B9/02 

щения 6. С помощью дополнительных фотодатчиков ка-ртине интерференции, полученной при наложении отраженных от зеркальной поверхности и от полупрозрачного зеркала 3 лучей, регистрируют положение объекта 1 относительно зеркала 3, при котором картина интерференции представляет собой пятно равномерной освещенности. Это положение принимают за нулевой отсчет и сбрасывают счетчики 6 в ноль.

Предмет изобретения

Снособ измерения угловых перемещений плоского объекта с помощью фотоэлектрических интерферометров, заключающийся в том, что направляют на поверхность объекта когерентный световой пучок и регистрируют интерференционную картину, полученную в результате наложения отраженных от наружной и внутренней поверхностей объекта световых пучков, и судят по ней об измеряемой величине, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения, направляют дополнительный когерентный световой пучок на зеркальную поверхность, расположенную на наружной поверхности объекта, совмещают отраженный от зеркальной поверхности световой пучок с опорным когерентным нучком, регистрируют совпадение плоских волновых фронтов отраженного и опорного когерентных пучков и принимают это положение за нулевой отсчет измерения.