Устройство для измерения перемещений объекта Советский патент 1976 года по МПК G01B11/00 

в точке пересечения лучей, отраженных от светоделителей. На чертеже дана схема предг:оженного устройства. Устройство содержит источник света 1(ОКГ), светодели1ельную пластину 2 для направления пучков света на референтный 3 и измерительный 4 отражатеути интерфе™ рометра, поляроиды 5 и 6, фотоприемники 7 и 8, блок 9 треобразования фазы интерференционных сигналов в счетлью импульсы СБетоделители 1О, 11, рекомбинационную пластину 12,. установленную в точке пересечения лучей, отраженных от светоделителей, полнронды 13, 14, фотоприемники 15 16, выходы которых соединены со вхо дами блока 17коррекции, счетно-вычиелительный блок 18,чет;эертььолновые пластинки 19, 20, предназначенные для созда1тя девяностоградусиого сдвига интерфере шюнных сигналов. При пе мещении отражателя 4 изменяется разность хода лучей в интерферомет ре. Его интёрференщшнныё сигналы пре образуются фотолриемниками 7 и 8 и поступают на блок 9 ппеобразования фазы и терференционных, сигналов в счетные . Сформированные этим блоком счет ные импульсы подсчитываются блоком 18. При постоянстве показателя преломления среды разность хода лучей в дополнительном интерфарометре, образованным светодвлительными, пластинами Ю, 11, 12, не изменяется. Если же «л шотся; показатель преломления среды, то оптическая разность хода интерферометров изменяется. При этом изменение числа порядков интерференции в дополнитрльном интерферометре воспринимается блоком 17 коррекщш, который. . с, учетом значения.полной разности хода nyieu в интерферометре вырабатывает кор еятйЪующие .импульсы, поступающие в блок 18 Макс.ймальное значение частоты интермференинонных снгнвлов в дополнительном ин1врфарометре, пропорциональное скорости, изменения показателя рреломления|.- во МНОГО раз (на 4-5 порядков) меньше значения частоты сигналов в интерферометре, поэтому полоса пропускания фотоприемников 15, 16 становится во много рао уже, чем полоса фотоприемников 7, 8. При этом мощность шумов на выходе фотоприечни- ков 15, 16, по сравнению с фотоприемниками 7,8, во много раз менылэ, следовательно, мощность для освещения дополни- . тельного интерферометра требуется во мно- го раз меньше. Устанавливая светлодели- тели 10 и 11 с большим отношением коэффициента пропускания к коэффициенту отражения, распределяют моишость лазера таким образом, чтобы подавляющая часть ее поступала для освещения интерферометра. По сравнению с известным устройством в предлагаемом устройстве мощность пучка света в интерферометре в два раза больше, следовательно, оно имеет в 2 раза большее быстродействие. Кроме того, конечные . значения непрямолинейности не приводят к появлению ложного корректирующего сигнала. Формула изобретения Устройство для измерения перемещений объекта, содержащее источник света, светоделительную пластину, референтный и измерительный отражатели, расположенные по разные стороны светоделительной пластины, блок фотоприемников с поляроидами, расположенных по обе. стороны светодели-k тельной пластины на пути лучей, отраженных от референтного и измерительного- отражателей, блок обработки сигналов с: фотоприемников, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и быстродействия измерений, оно снабжено двумя светоделителями, каждый из которых установлен между светоделительной пластиной и отражателем, и рекомбинаиионной пласти-. ной, установленной в точке пересечения лу- чей,-отраженных от светоделителей.