Манометрический преобразователь магнетронного типа Советский патент 1976 года по МПК G01L21/34 

(54) МАНОМЕТР ИЧЕСКИЙ f 1РЕОБРАЗОВАТЕЛ МАГШГПЧПИОГО idKA

Изобретение относится к устройствам для измерения вакуума, в частности к маг-нетронам, и может быть использовано в вакууметрах и системах регулирования давления. Устройства для намерения вакуума, осно ванные на зависимости величины электрического тока самостоятельного разряда в магнитном поле от плотности частиц газа в разрядной камере, широко применяются в промышленности и лабораторной практике. Достоинством магниторазрядных маномет рических преобразователей являются простота и надежность конструкции (в частности благодаря отсутствию накаленного эмиттера электронов), что обеспечивает им долгий срок службы и позволяет использовать в переносных условиях, отпаянных приборах и при космических исследованиях. Однако для этих преобразователей характерна невысокая точность измерений давления, что связано с нелинейностью характеристики и непостоянством чувствительности по рабочему диапазону. Преобразователи, имеющие широкий рабочий диапазон, обладают малой чувс;гв((ос7ьк, и для охвата иеобходииогО днаназонй iiaNiepeHHft с большей TO4Hocii:.Ki .ойигся применять несколько типов пре-обра:;к;н«гелей, каждый из которых, облаг.ичя яысоюй ц-упствнтель:НОСТью, настроен на свой узкий диапазон и в процессе эксплуатации не лерестраивает|ся. Чувствнтельисн-ть магииго 1аа}.ядного |преобразователя, т, в. наклс его градуировочной характеристики (зависимости разрядного тока от давления газа внутри камеры) определяется только геометрией электродной системы и электричесжим режимом вакууметра и для данного преобразователя в данной точке характеристики является величиной постоянной. Известен магшггоразрядный преобразователь с холодным катодом. О содержит цилнидрическпй анод, катод, выполненный в виде дисков, соединенных стержнем, и маг«иг, ссздающ1 й поле вдоль оси. Преобразователь имеет чувствительность около 1-2 а/тор При высоком питающем нлиряжеиин 5,5 кв. рааочий диапозон 1О -3 --7 измеряемь1х давлений Ю - 1О тор со средней чувствительностью 0,2 а/тор. При проведении измерений с двухкамерной конструкцией получена чувствительность до 1О а/тор в диапазоне измерений около одного порядка при изменении давления 10 -7 1О тор, а рабочий диапазон давлений рас J.O тор. ширен в пределах от 610 до Таким образом, в данном преобразователе имеется возможность эффективной регулировки рабочих параметров в процессе эксплуатации. Преобразователь конструктив но прост и легко градуируется. Формула изобретения 1. Манометрический преобразователь магнетронного типа, содержащий полый ци Линарический анод, размешенный по его оси -8 стержневой катод с дискаля) л м/ц-ппт, .отличающийся тем, что, с целью обеспечения регулирор-ки чувствительности, повышения точност и расширения рабочего диапазона измерений, си снабжен механизмом передвижения вдоль оси анода по крайней мере одного из катодных дисков. 2. Преобразователь по л. 1, отличающийся тем, что D нем механизм передвижения катоджых дисков выполнен в виде сильфона со штокол, связанным с одним из катодных диско .,г1ри этом силь фон герметично прикреплен- к оперстию, выпoлнeннo ry в торце ancvia. I 3, np :;O4- 3OPfiTv о Т Л И - обл er« а -f П1 1 ft о я -F-чения ;чо-к ;Г(мвя - ic 1тоцные диски П1ЛГС, (Н--.1 (-