Способ склеивания оптоэлектронной пары Советский патент 1979 года по МПК G01L1/04 

1

Изобретение относится к технологии изготовления оптических полупроводниковых приборов - оптоэлектронг ных пар. Известны способы склеиванил оптоэлектронных пар с помощью иг4мерсионной сре.цы.

При осуществлении известных способов невозможно получить равномерный и точно фиксированный зазор между фотоприемником и светоизлучателем.

Цель предложенного способа - получение равномерного и точно фиксированного зазора между фотоприемником и светоизлучателем.

Согласно изобретению в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фотоприемником и светоизлучателем в концентрации не MeHee5-10/5-d шт/см , где S - площадь соприкосновения фотоприемника и светоизлучателя,d требуемое расстояние между фотоприемником и светоизлучателем.

Материал шаровых гранул должен удовлетворять следующим требованиям

1. Электрическое удельное сопротивление (р ) равно или больше о иммерсионной среды.

2.Температура размягчения должна быть Bfcflue температуры плавления иммерсиойной среды.

3.Он не должен химически вэаимодействовать с материалами фотоприемника и светоизлучателя и иммерсионной средой. Этими свойствами обладают, например, гранулы из кварца.

Гранулы могут вводиться в иммерсионную среду либо непосредственно перед ее применением, либо заранее. Так как в качестве иммерсионной среды возможно применение двух видов материалов: либо полимерных органических, либо легкоплавких халькогенидных стекол, то и вводить гранулы следует с учетом свойств среды. Например, в случае применения в качестве иммерсионной среды полимерной смолы в качестве гранул применяют вдарики из силикатного или халькогенидного стекла. В полимерную иммерсионную среду перед употреблением добавляют указанное количество гранул, смесь

тщательно перемешивают до образования взвеси. Поместив каплю такой иммерсии между фотопрнемником и светоизлучателем, осторожно притирают их друг к другу до упора. Так как в эазор между этими элементами попадет при данной концентрации 5-10 шт. гранул, они распределяются в одной плосJKOCTH, препятствуя их сближению, устанавливая, таким образом, нужное расстояние между ними. В случае применения в качестве иммерсионной среды легкоплавких халькогенидных стекол гранулы, изготов;1енные из более тугоплавкого халькогенидного стекла, кварца и т.д., добавляются в расплав халькогенидного стек ла, смесь перемешивается, охлаждается и применяется в качестве иммерсион ной среды. Наличие в иммерсионной среде между ФП и СИ 5-10 гранул диаметром 15-100 мкм не влияет на оптические характеристики оптоэлектронной пары, т.к. суммарная- площадь гранул значительно меньше площади, по которой осуществляется светопередача, особенно, если, как показывает опыт, наиболее распространение получают пары с завором 20-25 мкм и площадью сяетопередачи 1 мм. Сферические гранулы из любых материалов размером от 1 до 100 мкм изготовляются методом плазменного распылении. Формула изобретения Способ склеивания оптоэлектронной пары с помощью иммерсионной среды, отличающийся тем, что, с целью получения равномерного и точно фиксированного зазора между фотоприемником и светоизлучателем, в иммерсионную среду вводят сферические гранулы из диэлектрика, имеющие диаметр, равный требуемому зазору между фотоприемником и светоизлучателем в концентрации не мeнse.5-10/Sdшт/cм 2, где 5 - площадь соприкосновения фотоприемника и светоизлучателя,d требуемое расстояние между фотоприемником и светоизлучателем.