Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента Советский патент 1976 года по МПК G01R29/22 H03H3/02 

1

Изобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано нри разработке ньезо.электрическнх устройств.

Известны снособы исследования картииы колебаний ньезоэлементов с помощью зондирования поверхности пьезоэлемента электронным лучом 1-3. При этом по характеру отражения от колеблющейся поверхности можно косвенно судить об амплитуде колебаний пьезоэлемента. Эти способы не позволяют непосредственно измерять амплитуду колебаний.

Известен способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента, основанный на фотографировании колеблющегося пьезоэлемеита в проходящих лучах света и измерении на фотографии проекции смещений интересуюн их точек ньезоэлемента 4.

Однако этот способ измерения амплитуды колебаний ньезоэлемента обладает недостаточно высокой разрешаюп1,ей способностью - малой точностью измерения амплитуды колебаний.

Цель изобретения - повышение точности измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента.

Это достигается тем, что по предлагаемому способу до фотографирования пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальной плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое изображение этого участка с увеличением заданной кратности.

Практическая реализация способа обусловлена возможностью получения теневого электронного рисунка непрозрачного тела, помещенного в вакуумный канал электронного микроскопа. Возбужденный пьезоэлемент, совершая колебания, дает на фотопластинке четкую тень от колеблющихся границ, величина которой соответствует амплитуде колебаний данного участка пьезоэлемента с учетом увеличения заданной кратности.

Фотографирование в электронных лучах электронного микроскопа позволяет достичь больн1их кратностей увеличения. Точность HJмерення амплнтуды колебаний таким способом на несколько порядков превыншет точность измерения в проходян1их лучах света.

Современные электронные микроскопы позволяют располагать в вакуумном канале пьозоэлемепты сравнительно большнх размеров и осуществлять токосъем с электродов пьезоэлемента при помощи встроенных в вакуумный канал электрических контактов.

Форм у л а и 3 о б р е т е н н я

Способ измерения амплитуды колебаний пьезоэлемента, при котором фотографируют

колеблющийся пьезоэлемент и измеряют на фотографии проекцию смещений интересующих точек пьезоэлемента, отличающийся тем, что, с целью повыщения точности измерения амплитуды колебаний, до фотографирования пьезоэлемент располагают в вакуумном канале электронного микроскопа в нижней фокальпой плоскости объективной электромагнитной линзы и фокусируют электронный луч на интересующий участок пьезоэлемента, затем проектируют на фотопластинку теневое

изображение этого участка с увеличением заданной кратности.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе.

1.Авт. св. № 243937, Н 42К 45/01, 1966.

2.Авт. св. № 356753, Н ОЗН 3/02, 1970.

3.Апт. св. № 361510, Н ОЗН 3/04, 1970.

4.А. Г. Смагин, М. И. Ярославский. Пьезоэлектричество кварца и кварцевые резонаторы. М,, «Энергии, 1970, стр. 288.