Криогенный сверхвысоковакуумный насос Советский патент 1976 года по МПК F04B37/08 

1

Изобретение относится к области вакуумной техники.

Известен криогенный высоковакуумный насос, содержащий корпус с размещенными в нем охлаждаемым радиационным экраном и криопанелью.

Для охлаждения экрана и криопанели в известном насосе используют различные хладагенты, например жидкий азот и жидкий гелий. Кроме того, для охлаждения криопанели применяют гелиевую холодильную машину, что усложняет эксплуатацию насоса.

Известен и другой криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус с патрубками для присоединения вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охлаждаемый радиационный экран и криопанель. Этот является наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату. Однако и в этом насосе необходимо применение двух хладагентов с различной температурой кипения, один из которых - л ;идкий гелий является дорогостоящим газом и требует особых условий хранения.

Целью изобретения является повыщение экономичности путем охлаждения экрана и криопанели одним хладагентом, например жидким азотом, переохлажденным внутри криопанели вакуумированием его паров.

Указанная цель достигается тем, что радиационный экран выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, а с торцовых сторон

к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью для залива хладагента и вакуумирования его паров.

На чертеже изображен предлагаемый насос,

продольный разрез.

Насос содержит корпус 1 с патрубками 2 и 3 для присоединения соответственно вспомогательного насоса и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса 1 охлаждаемый

радиационный экран 4 и криопанель 5. Экран 4 выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, заполненного хладагентом 6. С торцовых сторон к сосуду подключены патрубки 7 и 8, герметично соединенные с криопанелью 5 и магистралью для залива хладагента 6 и вакуумирования его паров. Насос работает следующим образом. В полости радиационного экрана 4 и криопанели 5 заливается хладагент 6, например жидкий азот. Затем пространство над хладагентом 6 в объеме криопанели 5 вакуумируется и понижается температура хладагента 6. При понижении температуры на поверхности

криопанели 5 начинается процесс криооткачки.

Таким образом, описываемый насос позволяет получать сверхвысокий вакуум при использовании для охлаждения экрана и криопанели только одного хладагента, что повышает его экономичность.

Формула изобретения

Криогенный сверхвысоковакуумный насос, содержащий корпус -с патрубками для присоединения вспомогательного насоса, например паромасляного вакуумного насоса, и откачиваемого объема и размещенные внутри корпуса охлаждаемый радиационный экран и крйопанель, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем охлаждения экрана и криопанели одним хладагентом, например жидким азотом, переохлажденным внутри криопанели еакуумированием его паров, экран выполнен в виде двухстенного цилиндрического сосуда с центральным отверстием для прохода газа, а с тордовых сторон

к сосуду подключены патрубки, герметично соединенные с криопанелью и магистралью для залива хладагента и вакуумирования его паров.

f -f X / f -1л