Криогенный насос Советский патент 1988 года по МПК F04B37/08 

А 7 f

(Л

4i.

СО

о

СП

со

экрана и герметично соединена с ней в нижней части с образованием кольцевой полости 13, сообщенной с сосудом 4 для хладагента. Высокотеплопроводная трубка 14 установлена в цилиндрическом канале 5, контактирует с его внутренней стенкой и снабжена в верхней части кольцом 15 с внутренним резьбовым отверстием. Трубка- подвес 10 снабжена разъемными герметичными соединениями 16, 17 и резьбовой втулкой 18 со сквозными отверстиями. Соединение 16 размещено в крышке 2 корпуса 1, соединение 17- на сосуде 9 для криоагента, а втулка 18 расположена в резьбовом отверстии кольца 15, Колпачковый экран 19, закрепленный на втулке 18, перекрывает вертикальные отверстия, причем поверхности экрана 19 и втулки 18, обращенные друг к другу, и стенки

вертикальных отверстий имеют покрытие с высокой поглощающей способностью. Втулка 20, герметично закрепленная на днище сосуда 9, имеет два осевых глухих отверстия 21. Одно из отверстий выполнено со стороны трубки- подвеса 10, другое - со стороны плоского шевронного экрана 8, отверстие 22 которого соосно отверстию 21, При таком выполнении насоса достигается равномерность поля т-р в обечайках 6 и 12 и, соответственно, снижение расхода криоагента в сосуде 9 вследствие уменьшения теплопритоков к не- .му извне. Трубка 14 с кольцом 15 позволяет кроме надежной фиксации трубки-подвеса обеспечить охлаждение ее перед заливом криоагента в сосуд 9, Соединения 16, 17 дают возможность . упростить сборку-разборку насоса. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к конструкциям криогенных средств вакууми- рования. Цель изобретения - повьше- ние экономичности путем снижения расхода криоагента, а также повышение надежности. Дополнительная обечайка 12 закреплена на кольцевом сосуде 4 с. тепловым контактом, размещена ко- аксиально обечайке 6 радиационного

1

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям криогенных средств вакуумирования.

Целью изобретения является повышение экономичности путем снижения расхода криоагента, а также повышение надежности.

На чертеже представлен насос, продольньш разрез.

Криогенный насос содержит вертикальный корпус 1 с крьш:кой 2 и входным патрубком 3 в нижней части, охлаждаемый раднационнъш экран„ выполненный в виде кольцевого сосуда 4 для хладагента с осевым цилиндрическим каналом 5 и обечайки 6, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде 4, Щ1линдрический шевронный экран 7, коаксиально располо- женный со стороны входного патрубка 3 внутри обечайки 6 радиационного экрана и присоединенный нижним торцом к.ней с тепловым контактом, а верхним - к шевронному экрану 8, и откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 9 для криоагента, размещенного между кольцевым сосудом 4 для хладагента, обечайкой 6 радиационного экрана и плоским шевронным

экраном 8 и снабженного осевой трубкой-подвесом 10, закрепленной на крьш1ке 2 корпуса 1, и криопанелью, выполненной в виде обечайки 11, закрепленной с тепловым контактом на сосуде 9 для криоагента и размещенной между обечайкой 6 радиационного экрана и цилиндрическим шевронным экраном 7, Насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде 4 с тепловьм контактом дополнительную обечайку 12, размещенную коаксиально обечайке 6 радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольцевой полости 13, сообщенной с кольцевым сосудом 4 для хладагента, и высокотеплопроводную трубку 14, установленную в цилиндрическом канале 5, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхней части кольцом 15 с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес 10 снабжена разъемными герметичными соединениями 16 и 17, одно из которых размещено на 2 корпуса 1, другое - на сосуде 9 для криоагента, и резьбовой втулкой 18 со сквозными вертикальными отверстиями, располо31Д:,оз9о

женной в резьбовом отверстии кольца Формул

15 высокотеплопроводной трубки 14. Резьбовая втулка 18 снабжена закрепленным на ней колпачковым экраном 19, перекрьгоающим вертикальные отверстия, причем поверхности колпачкового экрана 19 и резьбовой втулки 18, обращенные одна к другой, и стенки вертикальных отверстий имеют покрытие с высокой-Q ловым контактом на кольцевом сосуде, поглощающей способностью. Сосуд 9 цилиндрический шевронный экран, ко- дпя криоагента снабжен герметично аксиально расположеиньй со стороны закрепленной на его днище втулкой 20, патрубка внутри обечайки имеюп1еи два осевьк глухих отверстия

а изобретения 1. Криогенный насос, содержащий вертикальный корпус с крышкой и входным патрубком в нижней части, охлаж- даемьй радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда для хладагента с осевым цилиндрическим каналом и обечайки, закрепленной с тепрадиационного экрана и црисоед нен- ный нижним торцом к ней с тепловьп-i контактом, а верхним - к шевронному экрану, и откачивающий элемент, пы- полнеиный в виде сосуда для криоаз еи та, размещенного между кольцевьи- со

21, одно иэ которых вьтолнено со стороны трубки-подвеса 10, другое - со стороны плоского щевронного экрана 8, который снабжен отверстием 22, соосным с глухим отверстием 21.

Насос работает следующим образом.

В кольцевой сосуд 4 подают хладагенты, что обеспечивает охлаждение шевронных экранов 7 и 8 и обечаек 6 и 12. После стабилизации их температуры подают криоагент в сосуд 9, охлаждая криопанель. По достижении на криопанели температуры, близкой к температуре криоагента, насос го- тов к работе. Через патрубок 3 в объем насоса подается откачиваемый газ, ко торый, проходя через шевронные экраны 7 и 8, поступает к обечайке 11, где концентрируется. Легкоконденсирующиеся компоненты откачиваемого газа конденсируются на поверхностях щевронных экранов. 7 и 8.

Наличие обечайки 12 позволяет образовать полость 13 с обечайкой 6 и подать в эту полость хладагент из сосуда А. Таким образом, достигается равномерность поля температур в обечайках 6 и 12 и, соответственно, снижение расхода криоагента в сосуде 9 вследствие уменьшения теплопритоков к нему извне.

Высокотеплопроводная трубка 14 с кольцом 15 позволяет кроме надежной фиксации трубки-подвеса 10 обеспечить охлааздение ее перед заливом криоагента в, сосуд 9. Разборные соединения 16 и 17 дают возможность упростить сборку-разборку насоса.

Установка в глухие отверстия 21 втулки 20 фиксирующих элементов, сопрягаемых с трубкой-подвесом 10 и отверстием 22 в шевронном экране 8, обеспечивает надежную взаимную фиксацию сосудов 4 и 9 при транспортировке насоса.

ловым контактом на кольцевом сосуде, цилиндрический шевронный экран, ко- аксиально расположеиньй со стороны патрубка внутри обечайки

а изобретения 1. Криогенный насос, содержащий вертикальный корпус с крышкой и входным патрубком в нижней части, охлаж- даемьй радиационный экран, выполненный в виде кольцевого сосуда для хладагента с осевым цилиндрическим каналом и обечайки, закрепленной с тепловым контактом на кольцевом сосуде, цилиндрический шевронный экран, ко- аксиально расположеиньй со стороны патрубка внутри обечайки

радиационного экрана и црисоед нен- ный нижним торцом к ней с тепловьп-i контактом, а верхним - к шевронному экрану, и откачивающий элемент, пы- полнеиный в виде сосуда для криоаз еи- та, размещенного между кольцевьи- сосудом для хладагента, обечайкой радиационного экрана и плоским шеврон- ньм экраном и снабженного осевой трубкой-подвесом, закрепленной на крьш1ке корпуса, и криопанелью, выполненной в виде обечайки, закрепленной с тепловым контактом на сосуде для криоагента и размещенной между обечайкой радиационного экрана и цилиндрическим шевронным экраном, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем снижения расхода криоагента, насос дополнительно содержит герметично закрепленную на кольцевом сосуде с тепловым

контактом дополнительную обечайку, размещенную коаксиально обечайке радиационного экрана, герметично соединенную с ней в нижней части с образованием кольцевой полости, сообщенной с кольцевым сосудом для хладагента, и высокотеплопроводную трубку, установленную в цилиндрическом канале, контактирующую с его внутренней стенкой и снабженную в верхней

части кольцом с внутренним резьбовым отверстием, а трубка-подвес снабжена разъемными гермет1гчными соединения

ми, одно из которых размещено на крышке корпуса, другое - на сосуде для криоагента, и резьбовой втулкой со сквозными вертикальными отверстиями, расположенной в резьбовом отверстии кольца высокотеплопроводной трубки.

514305506

вертикальные отверстия,-причем по-шения надежности, сосуд для криоагенверхности колпачкового экрана и резь-та снабжен герметично закрепленной

боной втулки, обращенные одна к дру-на его днище втулкой, имеющей два осевых

гой, и стенки вертикальных отверстийглухих отверстия, одно из которых

имеют покрытие с высокой поглощающейвыполнено со стороны трубки-подвеса,

способностью.другое - со стороны плоского шеврон3. Насос по п.1,отличаю-ного экрана, а последний снабжен от

щ и и с я тем, что, с целью повы-верстием, соосным с глухим отверстием.

10