Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания Советский патент 1976 года по МПК H01K3/02 H05B33/10 G03F3/00 

Таким образом, в отличие от прототипа, где .токовая .разводка и элементы накаливания разнесены ,в различные плоскости и не могут быть сформированы одновременно, применение сапфировой подложки позволяет получить на ней монокристаллическую нленку вольфрама и в едином процессе фотогравировки одновременно получить в этой пленке и схему токовой разводки и элементы накаливания. Три операции на«есения металла-для токовой разводки, праверз и элементов накаливания- заменяются одной операцией занесения пленки вольфрама. Отпадает необходимость в нанесении и последующем стравливании слоя стекла. Три операции фотогравировки - для формирования схемы токовой разводки, схемы отверстий в 1слое стекла под траверзы и системы элементов накаливания - заменяются одной операцией фотогравировки, в которой одновременно формируются все элементы индикатора.

Формула изобретения

Способ изготовления индикаторов с тугоплавкими элементами накаливания, включаюш,ий формирование на изолирующей подложке схемы токовой разводки, элементов накаливания из тугоплавкого металла и создание

изолирующего зазора между подложкой и элементами накаливания, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и увеличения КПД индикаторов, на подложку из монокристаллического высокотемпературного окисла, например сапфира, наносят лленку тугоплавкого металла, например вольфрама, в которой одновременно и в одной плоскости формируют схему токовой разводки и систему элементов накаливания.