(54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
ОДНОПОТОЧНЫЙ ЧЕТЫРЕХСТУПЕНЧАТЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС | 2014 |
|
RU2560133C1 |
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС | 1998 |
|
RU2168070C2 |
ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС С ОДНОПОТОЧНОЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОЙ ПРОТОЧНОЙ ЧАСТЬЮ | 2012 |
|
RU2490519C1 |
ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ГИБРИДНЫЙ НАСОС | 2012 |
|
RU2561514C2 |
УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ НАНОКОМПОЗИТОВ В ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ | 2013 |
|
RU2542211C2 |
УСТАНОВКА ДЛЯ ОБРАБОТКИ НАНОКОМПОЗИТОВ В ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ | 2013 |
|
RU2560898C2 |
Молекулярный вакуумный насос | 1990 |
|
SU1781463A1 |
СПОСОБ ОБРАБОТКИ НАНОКОМПОЗИТОВ В ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ | 2013 |
|
RU2547088C2 |
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ СМЕСИ ГАЗОВ ПО МОЛЕКУЛЯРНОЙ МАССЕ | 2019 |
|
RU2724101C1 |
ПОГРУЖНОЙ ЛИНЕЙНЫЙ ЭЛЕКТРОДВИГАТЕЛЬ | 2014 |
|
RU2549381C1 |
Изобретение относится к вакуумной технике. Известен молекулярный насос, содержащий ротор, укрепленный внутри статора ij Известный насос не обеспечивает эффективной работы вследствие ограниченного значения скорости откачки. Цель изобретения - увеличение скорости откачки насоса. Указанная цель достигается тем, что ротор выполнен составным из полых цилиндров, наружная поверхность которых снабжена крупной прямоугольной резьбой, меняющей свое направление на противоположное на каждом следующем цилиндре и соединенной в общий канал отверстиями, расположенными в начале и конце резьбы каждого цилиндра, а резьбовые каналы соединены отверстиями с входными и выходными отверстиями насоса, при этом статор насос имеет камеру для охлаждающей жидкости, например, жидкого азота. На чертеже изображ,ен насос в продольном разрезе. Молекулярный насос содержит ротор 1, укрепленный внутри статора 2. Ротор 1 выполнен составным из полых цилиндров 3, наружная поверхность которых снабжена крупной прямоугольной резьбой 4, меняющей вое направление на противоположное на каждом следующем цилиндре и соединенной в общий канал 5 отверстиями 6 и 7, расположенными в начале и конце резьбы 4 каждого цилиндра 3, а резьбовые каналы 8 соединены отверстиями 6 и 7 с входными и выходными отверстиями 9 и Ю насоса, а статор 2 имеет 11 для охлаждающей жидкости. Насос работает следующим образом. При вращении ротора 1 молекулы газа увлекаются поверхностями цилиндров 3, проходят последовательно резьбовые каналы 8 каждого пилкндра 3 и попадают в общий канал 5. Таким образом, выполнение ротора из составных полых цилиндров, наружная поверхность которых снабжена крупной прямоугольной резьбой, позволяет, не увеличивая габаритов насоса и скорости ротора,
обеспечить большую поверхность, увлекающую молекулы газа от входа к выходу насоса.
Формула изобретения
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
Авторы
Даты
1977-01-05—Публикация
1965-12-29—Подача