Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеющем разряде Советский патент 1977 года по МПК H01J3/38 C23C13/08 

толщине и свойствам окиспой пленки иа граиице катода 4 держатель 3 катода выполнен из материала катода и имеет одинаковый с внутренний диаметр.

Вакуумный колнак 1 имеет отверетия для подеоединения к системам для откачки и напуска газа.

Устройство работает следующим образом.

Катод 4 устанавливают в держатель 3, надевают вакуумный колнак 1 и осун1,ествляют откачку до давления порядка 1-10 мм рт. ст. Затем производят напуск окисляющей среды в камеру до давления 1-3 мм рт. ст. и зажигают разряд. В пронессе окислеиия поддерживается постоянный ток разряда.

Предлагаемое устройство обеспечивает получение равномерной по толщине к свойствам окнсной пленки на внутренней новерхности катода.

Формула изо б р е т е и и я

1.Устройство для окисления полых цилиндрических катодов в тлеюнхем разряде, содержащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатель катода, системы для откачки и напуска газа, отличающееся тем, что, с целью получения равномерной по толщине и свойствам окисной пленки на внутренней поверхности катода, анод расположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности, а держатель катода имеет центральное отверстие с диаметром, равным диаметру внутренней полости

катода, и боковые отверстия, расноложенные по окружности центрального отверстия.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что держатель катода вынолнен из материала катода.